I n d on e s i an   Jo u r n al   o El e c t r i c al   En gi n e e r i n g   an d   C o m p u te r   S c i e n c e   V o l .   41 ,   N o .   2 F e b r ua r y   20 2 6 ,   pp .   494 ~ 5 03   IS S N :   2 502 - 4 7 52 ,   D O I :   10. 1 1591 / i j e e cs .v 41 . i 2 . pp 494 - 503             494     Jou r n al   h o m e pa ge ht t p: / / i j e e cs . i a e s c or e . c om   A ssessm e n t   o f   d e t e c t i o n   m e t h o d f o r   b a c k - e n d   p r o c e ss d e f e c t s   i n   e q u i p m e n t   a n d   d e v i c e i n   sem i c o n d u c t o r   m a n u f a c t u r i n g       A m e e r   F a r h an   R o s l an 1 ,   M as r u l l i z am   M at  I b r ah i m 1 ,   N i k   M o h d   Zar i fi e   H as h i m 1   M o h d   S yah r i n   A m r i   M o h d   N o h 1 , 2 To l e   S u ti k n o 2 , 3   1 Ce n t r e   f o r   T e l e c o m m u n i c a t i o n   R e s e a r c h   a n d   In n o v a t i o n   ( Ce T RI) ,   F a k u l t i   T e k n o l o g i   d a n   K e j u ru t e ra a n   E l e k t r o n i k   d a n   K o m p u t e r   (F T K E K ) U n i v e r s i t i   T e k n i k a l   M a l a y s i a   M e l a k a   ( U T e M ) ,   M e l a k a ,   M a l a y s i a   2 M a s t e P r o g ra m   o f   E l e c t ri c a l   E n g i n e e ri n g ,   F a c u l t y   o f   In d u s t ri a l   T e c h n o l o g y ,   U n i v e r s i t a s   A h m a d   D a h l a n ,   Y o g y a k a rt a ,   I n d o n e s i a   3 E m b e d d e d   S y s t e m   a n d   P o w e r   E l e c t r o n i c s   R e s e a rc h   G ro u p ,   Y o g y a k a rt a ,   I n d o n e s i a       A r ti c l e   I n fo     A B S TR A C T     Ar t i c l e   h i s t or y :   R e c e i v e M a y   2 2 024   R e v i s e N o v   5 2025   A c c e pt e D e c   13 2 025       D e f e c t   de t e c t i o p l a y s   a   p i v o t a l   pa r t   i n   t he   m a nuf a c t u r i ng   pr o c e s s   o f   s e m i c o nduc t o r s D e f e c t s   c a n   be   r o o t e in   t he   p r o duc t   o i t s   o w n,   a s   w e l l   a s   t he   t o o l s   us e d   t o   p r o c e s s   a nd   m a k e   t he   p r o duc t ,   pa r t i c ul a r l y   t he   e qui pm e nt   a nd  m a c h i ne r y   us e d.   D e f e c t   d e t e c t i o i s   c r uc i a l   i s e m i c o nduc t o r   m a nuf a c t ur i ng ,   w h e r e   e v e n   m i no r   f l a w s   c a n   c o m pr o m i s e   p r o duc t   pe r f o r m a nc e .   D e f e c t   d e t e c t i o i t he   ba c ke n p r o c e s s   o f   s e m i c o nduc t o r   m a nuf a c t ur i ng ,   s pe c i f i c a l l y   i d i e   a t t a c a nd  d i e   bo ndi ng ,   i s   c r i t i c a l   f o r   e ns u r i ng   pr o duc t   qua l i t y   a nd   r e l i a b i l i t y .   D i e   a t t a c h   i nv o l v e s   s e c u r i ng   s e m i c o nduc t o r   c hi p s   o nt o   s ub s t r a t e s ,   w h i l e   di e   bo ndi ng   i nv o l v e s   c o nne c t i ng   w i r e s   t o   t he   c hi p .   D e t e c t i ng   de f e c t s   d ur i ng   t he s e   pr o c e s s e s   i s   v i t a l   t o   pr e v e n t   i s s ue s   s uc a s   m i s a l i g nm e n t ,   i n a de q ua t e   bo ndi ng ,   o r   c o nt a m i n a t i o n,   w h i c c a l e a d   t o   m a l f unc t i o ni ng   c hi p s   o r   de v i c e s .   V a r i o us   t e c hn i qu e s   s uc h   a s   v i s ua l   i n s pe c t i o n,   a ut o m a t e o pt i c a l   i n s pe c t i o ( A O I ) ,   a nd  X - r a y   i m a g i ng   a r e   u t i l i z e d   t o   i d e n t i f y   de f e c t s   l i ke   c r a c ks ,   v o i ds ,   o r   i r r e g ul a r i t i e s   i bo nd   f o r m a t i o n.   B y   e m pl o y i ng   r i g o r o us   de f e c t   de t e c t i o m e a s u r e s ,   m a n uf a c t ur e r s   c a upho l d   s t r i ng e nt   qu a l i t y   s t a nda r d s   a nd  pr o duc e   r e l i a bl e   s e m i c o nduc t o r   de v i c e s   f o r   v a r i o us   a pp l i c a t i o ns .   Ke y w or ds :   B a c k - e n p r o c e s s   D e fe c t   de t e c t i o n   D i e   b o n d   P a c ka ge   a nd  e qu i pm e n t   S e m i c o n duc t o r   T hi s   i s   an   ope n   ac c e s s   ar t i c l e   u nde r   t he   C C   B Y - SA   l i c e ns e .     Cor r e s pon di n g   Au t h or :   M a s rul l i z a m   M a t   Ib r a hi m   Ce n t r e   f o r   T e l e c o m m u n i c a t i o R e s e a r c a nd   I nn o v a t i o n   (Ce T R I)   F a kul t i   T e k n o l o gi   d a n   K e j urut e r a a n   E l e k t r o n i d a K o m put e (F T K E K )   U n i v e r s i t i   T e kni ka l   M a l a y s i a   M e l a ka   (U T e M )   M e l a ka ,   M a l a y s i a   E m a i l :   m a s r ul l i z a m @ u t e m . e du. m y       1.   I N TR O D U C TI O N   S e m i c o n duc t o r   m a n uf a c t u ri n i n v o l ve s   t h e   i nt r i c a t e   p r o c e s s   of   f a b r i c a t i n e l e c t r o ni c   c o m po n e n t s   s uc h   a s   i nt e g r a t e d   c i r c ui t s   o n   s e m i c o n d uc t o r   m a t e ri a l s ,   e m pl oy i n p r e c i s e   t e c hni que s   t o   e t c h,   de po s i t ,   a n pa t t e rn  m a t e r i a l s   a t   t h e   na n o s c a l e   l e v e l .   H ow e ve r ,   de s pi t e   t he   m a n y   a dv a nt a ge s   o f   i n t e g ra t e c i r c ui t s ,   de f e c t s   c a o c c ur   du ri n g   t h e   m a nuf a c t uri n g   p r o c e s s ,   a n t h e s e   de f e c t s   c a ha v e   v a r i o us   i m pa c t s   o t h e   pe r f o r m a n c e   a n d   r e l i a b i l i t y   o f   t h e   s e m i c o n duc t o pa c k a ge s .   P r o c e s s   va r i a t i o n s   c a r e s ul t   i pe r f o r m a n c e   v a r i a t i o n s ,   a f fe c t i n g   f a c t o r s   s uc a s   s pe e d,   po w e r   c o n s um p t i o n ,   a n d   r e l i a b i l i t y ,   l e a di n g   t o   i n c o n s i s t e n c i e s   i t ra n s i s t o s i z e s ,   do pa n t   c o n c e nt r a t i o n s ,   a n o t h e pa ra m e t e r s   [1] ,   [2] .   P a r t i c l e   c o n t a m i n a t i o n   m e a n w h i l e ,   m a y   c a us e   s h o rt   c i r c ui t s ,   i n c r e a s e l e a k a ge   c u rr e nt ,   o o t h e r   e l e c t r i c a l   a n o m a l i e s ,   po t e nt i a l l y   l e a di ng  t o   t h e   pa c ka ge   f a i l u r e .   A n o t h e r   k n o w n   i s s ue   i s   de f e c t i v e   i n t e r c o nn e c t i o n s ,   p a r t i c u l a rl y   i n   t h e   m e t a l   i n t e r c o nn e c t   l a y e r s ,   s uc h   a s   o pe c i r c ui t s   o s h o rt s ,   c a di s r up t   t h e   f l o w   of   s i gna l s   b e t w e e n   c o m po n e nt s   c a us i n g   r e duc e f un c t i o n a l i t y   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2 5 0 2 - 4 7 52       A s s e s s m e nt   of   d e t e c t i on   m e t hods   f or   bac k - e nd   pr oc e s s   de f e c t s   i n   e qu i pm e nt   and   …  ( A m e e r   F ar han   R os l an )   495   o r   c o m pl e t e   f a i l u r e   o f   t h e   i nt e g r a t e d   c i r c ui t .   S t r e s s - i n duc e de f e c t s   o n   t h e   o t h e ha n d   m a y   l e a d   t o   t h e   de ve l o pm e n t   o f   c r a c k s ,   v o i ds ,   o r   o t h e r   s t ruc t u r a l   i s s ue s ,   i m pa c t i n g   t h e   o v e r a l l   r e l i a b i l i t y   a nd  l i f e s pa o f   t h e   IC  [3 ] .   T e c hn i q ue s   s uc a s   de s i g f o r   m a nuf a c t uri n g   ( D F M ),   t h o r o ug h   t e s t i n g   a t   v a r i o us   s t a ge s ,   a n d   i m p l e m e nt i ng  r e du nda n c y   i c ri t i c a l   c o m po n e nt s   a r e   e m pl o y e t o   i m p r o v e   y i e l a nd   e n s u r e   t h e   r e l i a b i l i t y   o i n t e g r a t e c i r c ui t s .   W h e n   i t   c o m e s   t o   t e s t i n g   a n d   e xa m i ni n i n t e g ra t e c i r c ui t s   (I Cs ),   b o t h   de s t r uc t i v e   a n d   n o n - de s t r uc t i v e   i n s pe c t i o m e t h o ds   a r e   e m p l oy e d.   T h e   c h o i c e   b e t w e e t h e s e   m e t h o ds   de pe n ds   o f a c t o r s   s uc a s   t h e   s t a ge   o f   pr o duc t i o n,   t h e   de s i r e l e v e l   of   de t a i l ,   a n t h e   i m pa c t   o n   t h e   i n t e g ri t y   of   t h e   IC .   T hi s   s u r v e y   fo c us e s   o n   t h e   n o n - de s t r uc t i v e   t e s t i n g   (N D T )   m e t h o t ha t   i s   us e t o   e xa m i n e   t h e   r e l i a b i l i t y   a s   w e l l   a s   t a n a l y z e   a n y   f a i l u r e   m e c ha n i s m s   w i t hi n   t h e   de v i c e   [4] .   S i m i l a rl y ,   e xa m i ni n e qui p m e n t   de f e c t s   i s   a   c r uc i a l   a s pe c t   o f   e n s ur i ng  t h e   r e l i a b i l i t y ,   s a f e t y ,   a n pe r f o r m a n c e   o m a c hi n e r y   a n d   de v i c e s   [5] .   D i e   a t t a c h m e n t   a n di e   b o n di n a r e   c r i t i c a l   s t e ps   i m a n uf a c t u r i ng  t h e   I Cs   a s   t h e y   d e f i n e   t h e   c o nn e c t i o t o   t h e   p a c ka ge   a n d   pr o v i de   e l e c t ri c a l   i n t e r c o nn e c t i o f o po w e r   a n d   s i g n a l   t ra n s m i s s i o qua l i t y ,   a l o n gs i de   t h e r m a l   m a n a ge m e nt   v i a   e f f i c i e n t   h e a t   d i s s i pa t i o f r o m   p r o pe b o n di n g   a ppl i c a t i o n s   [6] [8] .   T h e   o b j e c t i ve   of   t h i s   p a pe i s   t o   pr o v i de   a   s u r v e y   a nd/ o r e v i e w   of   r e s e a r c p a pe r s   t h a t   ha v e   a dd r e s s e t h e   f a ul t s   a nd   de f e c t s   o f   t h e   di e   a t t a c h m e n t   a nd  d i e   b o n di n g   de t e c t i o m e t h o ds   us e d ,   f o r   b o t de v i c e s   a n d   e qui p m e nt .         2.   O V ER V I EW  O F   S E M I C O N D U C T O R   M A N U F A C TU R I N G   P R O C ES S   2. 1 .     Waf e r   fab r i c ati o n   s te p s   i n   th e   f r o n t - e n d   m an u fac tu r i n p r o c e s s   S e m i c o n duc t o r   w a f e r s   de v e l o pe f r o m   s i l i c o n   a r e   t y pi c a l l y   c o m pr i s e   f r o n t - e n a n b a c k - e n m a n uf a c t u ri n g   p r o c e s s e s .   T h e   f r o n t - e n d   p r o c e s s   be gi n s   w i t t h e   p r o duc t i o o f   s i l i c o w a f e r s .   W a f e r   f a b r i c a t i o i n v o l v e s   a   s e que n c e   o f   s t e ps :   s t a rt i n g   w i t a   p o l i s h e d   w a f e r ,   l a y e r s   a r e   de po s i t e us i n g   t e c hn i q ue s   l i ke   c h e m i c a l   o p h y s i c a l   v a po de po s i t i o (CV D / P V D ),   f o l l o w e by   ph o t o l i t h o g r a p h y   t o   p a t t e rn  t h e   l a y e r s ,   e t c h i n g   t o   r e m o ve   un w a n t e m a t e ri a l ,   i o n   i m p l a nt a t i o n   t o   a l t e r   c o n duc t i v i t y ,   di f f us i o n   t o   h o m o ge n i z e   do pi n g,   c h e m i c a l   m e c h a ni c a l   po l i s h i n g   t o   pl a n a ri z e   s u r f a c e s ,   a n d   f i n a l l y   t e s t i n g   t o   e n s u r e   f u n c t i o na l i t y   [9],   [10] T h e s e   p r o c e s s e s   a r e   r e pe a t e d   i t e ra t i v e l y   t o   b ui l c o m pl e x   i nt e g r a t e d   c i r c ui t s   o s i l i c o w a f e r s .   F i gu r e   de pi c t s   w a f e r   f a b r i c a t i o s t e ps   i t h e   f r o nt - e nd  m a nuf a c t u r i ng  p r o c e s s .           F i gu r e   1 .   W a f e f a b r i c a t i o s t e ps   i n   f r o n t - e n d   m a n uf a c t u ri n g   pr o c e s s       2. 2 .     B a c k - e n d   m an u fac tu r i n p r o c e s s   fo r   s e m i c o n d u c to r   p r o d u c ti o n   In  t h e   b a c k - e n d   s e m i c o n duc t o r   m a n uf a c t u ri n p r o c e s s ,   f a bri c a t e w a f e r s   u n de r go   v a r i o us   c r i t i c a l   s t e ps .   I ni t i a l l y ,   e l e c t ri c a l   t e s t i n g   i de nt i f i e s   f a ul t y   di e s ,   w h i c a r e   t h e m a rke t o   p r e v e n t   w a s t e p a c ka g i n g.   T h e   w a f e r   i s   m o u n t e d   f o r   m e c h a ni c a l   s up po r t ,   t h e p r e c i s e l y   di c e i nt o   i ndi v i du a l   d i e   u ni t s .   G o o di e s   a r e   bo n de t o   s ub s t ra t e s ,   a nd   m i c r o s c o pi c   w i r e s   c o nn e c t   t h e m   t o   e l e c t ri c a l   t e rm i na l s .   P l a s t i c   m o l di ng  e n c a s e s   t h e   c o m po n e n t s   i e po xy   r e s i f o r   p r o t e c t i o n,   f o l l ow e by   e l e c t ro c h e m i c a l   pl a t i n g   f o e nha n c e du r a b i l i t y .   T r i m   a n d   f o r m   s t e ps   s ha pe   t h e   l e a ds ,   a n d   f i na l   t e s t i ng   e n s u r e s   f u n c t i o na l i t y .   L a s e m a r k i n g   a dds   i de n t i f i c a t i o n   c o d e s ,   a n u ni t s   a r e   pa c ke a c c o r di ng  t o   s pe c i f i c a t i o n s   f o r   s hi pm e n t .   T h i s   c o m p r e h e n s i v e   pr o c e s s   e n s u r e s   t h e   pr o duc t i o n   o f   r e l i a b l e   s e m i c o n duc t o r   de v i c e s   fo r   i n t e g r a t i o n   i n t o   e l e c t r o n i c   p r o duc t s   [11] .   F i gu r e   2   i l l us t r a t e s   t h e   b a c k - e n m a n uf a c t u r i ng  p r o c e s s   fo r   s e m i c o n duc t o pr o duc t i o n .   D i e   b o n di n g   i s   a   c r uc i a l   s t e i n   e s t a b l i s hi n a   r e l i a b l e   e l e c t r i c a l   c o nn e c t i o b e t w e e n   t h e   s e m i c o n duc t o d i e   a n d   s ub s t ra t e .   It   b e gi n s   w i t h   d i e   pr e pa ra t i o n,   w h e r e   t h e   di e   i s   t e s t e d,   s o r t e d,   a nd  e qui ppe w i t h   b o n pa ds ,   b e fo r e   t h e   s ub s t ra t e   i s   p r e pa r e d ,   a n a d h e s i v e   m a y   b e   di s pe n s e o n t o   i t .   T h e   di e   p i c kup  p r o c e s s   ut i l i z e s   s pe c i a l i z e t o o l s   l i ke   V e s pe l   c o l l e t s   t ha n dl e   t h e   s e m i c o n d uc t o r   d i e ,   e n s u ri n g   da m a ge - f r e e   m a ni pul a t i o n.   P r e c i s i o n   a l i g n m e n t   s y s t e m s   a l i g t h e   di e ' s   b o n d   pa ds   w i t t h e   s ub s t ra t e ' s   c o n t a c t   po i nt s   b e fo r e   pl a c e m e n t ,   b e fo r e   t h e   di e   i s   ge nt l y   l o w e r e o nt o   t h e   s ub s t r a t e .   O n c e   a d h e s i v e   bo n di ng  i s   e m pl o y e d,   c ur i ng  p r o c e s s e s   v i a   h e a t   o U V   l i g h t   m a y   fo l l ow   t o   s o l i di f y   t h e   a d h e s i v e .   O v e r a l l ,   di e   b o n di ng  e n s u r e s   b o t e l e c t r i c a l   a n d   m e c h a ni c a l   i nt e g r i t y   i s e m i c o n duc t o   de v i c e s   [12],   [13] .   T h e   a c c u r a c y   of   t h i s   p r o c e s s   a r e   e s s e n t i a l   f o t h e   r e l i a b l e   a nd   c o n s i s t e n t   pe r f o r m a n c e   o e l e c t r o n i c   de v i c e s .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2 5 0 2 - 4 7 52   In do n e s i a n   J   E l e c   E ng   &   Co m S c i V o l .   41 ,   N o .   2 F e b r ua r y   20 2 6 :   4 94 - 503   496       F i gu r e   2 .   B a c k - e nd  m a nuf a c t uri n g   p r o c e s s   fo r   s e m i c o n duc t o p r o duc t i o n       3.   O V ER V I EW  O F   D ETEC TI O N   M O D A LI TI ES   I N   S E M I C O N D U C TO R   M A N U F A C TU R I N G   P R O C ES S   In  s e m i c o n d uc t o m a n uf a c t u r i ng,   v a r i o us   m e t h o ds   o t e c h ni que s   a r e   us e d   f o r   s e n s i n g   a nd  m o n i t o ri n g   di f f e r e n t   a s pe c t s   o f   t h e   m a n uf a c t u r i ng  p r o c e s s ,   w h i c pl a y s   a   c r uc i a l   r o l e   i qu a l i t y   c o n t r o l ,   pr o c e s s   o pt i m i z a t i o n ,   a nd  e n s u r i n g   t h e   r e l i a b i l i t y   of   s e m i c on d uc t o r   de v i c e s .   T h e s e   s t e ps   i n   r e t u rn  i nt r o duc e s   pr o duc t i o n   e f f i c i e n c y   a s   w e l l   a s   p r o duc t i o n   c o s t s .   S e n s o r   m o da l i t i e s   f o r   m e t r o l o g y   i n   s e m i c o n duc t o m a n uf a c t u ri n g   i s   hi g hl y   i nt e r de pe n de n t .     O pt i c a l   s e n s i n g   i n   s e m i c o n d uc t o m a n uf a c t u r i ng  e n c o m pa s s e s   m a nua l   o pt i c a l   i n s pe c t i o a n d   a ut o m a t e o pt i c a l   i n s pe c t i o (A O I) .   W h i l e   m a n u a l   i n s pe c t i o r e l i e s   o h u m a v i s ua l   a s s e s s m e n t   us i ng  b a s i c   m i c r o s c o pe s ,   A O e m p l oy s   h i g h - r e s o l ut i o i m a g i n g   s y s t e m s ,   a dv a n c e i m a ge   p r o c e s s i n g   s o f t w a r e ,   a nd  pr e c i s i o n   m e c ha n i c a l   p l a t f o rm s   f o r   ra pi d ,   a c c ura t e   de f e c t   de t e c t i o n .   M a n ua l   i n s pe c t i o n   i s   l i m i t e by   l o w   o pt i c a l   r e s o l ut i o n,   s l o w   s pe e ds ,   s ub j e c t i ve   b i a s e s ,   a n hum a n   f a t i gue ,   m a ki n g   i t   l e s s   e ff e c t i v e   t h a n   A O [14] A O s y s t e m s   i n t e g r a t e   s pe c i a l i z e o pt i c s   a nd   l i g h t i n g   t e c hni que s   t o   c a pt u r e   m i c r o s c o pi c   de t a i l s   a nd   ut i l i z e   da t a   a n a l y t i c s   fo r   p r o c e s s   i m p r o v e m e n t ,   t h us   m i n i m i z i n g   y i e l l o s s   a n d   o pt i m i z i n g   m a n uf a c t u ri n g   e ff i c i e n c y .     X - ra y   m e t r o l o g y   de l i ve r s   c ri t i c a l   d i m e n s i o na l ,   s t ruc t u r a l   a n d   c o m po s i t i o n a l   i n f o r m a t i o n   du ri n b o t f r o n t - e n l i t h o gra p h y   a n d   b a c k - e n a s s e m b l y   s t a ge s   t h a t   r e m a i n s   i na c c e s s i b l e   t hr o ugh  c o n v e n t i o n a l   s u r f a c e - l i m i t e o pt i c a l   a n e l e c t r o n   m i c r o s c o p y   fo r   pr o c e s s   m o n i t o r i n g ,   de f e c t   de t e c t i o n ,   qu a l i t y   c o n t r o l ,   s pe c i f i c a l l y   pr o b i n g   t i n y   t r a n s i s t o r   g a t e   ge o m e t r i e s ,   m e a s u r i ng  m e t a l   f i l l   de n s i t i e s ,   i n s pe c t i ng  d i e   a t t a c h m e nt s ,   c h a ra c t e ri z i n di f f us i o n   de pt h s ,   v e ri fy i n IC  i n t e r c o nn e c t s ,   a udi t i n f l i p   c hi b o n ds ,   a n d   e x a m i n i ng  p a c ka ge c h i ps   [1 5],   [ 16] .   A c o us t i c a l   t e c hni que s   a r e   i n t e g ra l   t o   s e m i c o n duc t o f a b ri c a t i o n,   o ff e r i n g   n o n - i n v a s i v e   s ub s ur f a c e   i n s pe c t i o c ri t i c a l   f o r   qua l i t y   c o n t r o l   a nd  de f e c t   re duc t i o n .   S c a nn i ng  a c o us t i c   m i c r o s c o p y   (S A M )   e m pl oy s   ul t ra s o n i c   w a v e s   t o   m a b ur i e i n t e r f a c e s ,   v o i ds ,   a n d   de f e c t s   w i t h   m i c r o n - l e v e l   r e s o l ut i o n ,   r i v a l i n g   e l e c t r o n   m i c r o s c o p y   a l l ow i n p r e c i s e   i m a gi ng  o f   m a t e r i a l   s t r uc t u r e s   a n de f e c t s   i n   c h i ps / pa c k a ge s ,   f i l m   t h i c k n e s s   m e a s u r e m e n t ,   de l a m i na t i o s e n s i n g ,   a nd   t ra n s i s t o e l e m e n t   i m a g i n g   [17 ] .   S u r f a c e   a c o us t i c   w a ve   (S A W s y s t e m s   us e   h i g h - f r e que n c y   R a y l e i gh   w a v e s   t o   m o n i t o r   de v i c e   s ur f a c e s ,   pr o v i di n i n - s i t m e t r o l o g y   fo r   p r o c e s s   a n r e l i a b i l i t y   m o n i t o ri n [1 8] .   B o t t e c hni qu e s   c o m pl e m e nt   t ra di t i o n a l   o pt i c a l   a n e l e c t r o m i c r o s c o p y ,   off e r i ng  v a l u a b l e   i n s i g h t s   i nt o   s e m i c o n duc t o m a n uf a c t u r i n g   p r o c e s s e s .   In f r a r e t h e r m o g r a p h y   i s   w i de l y   us e i s e m i c o n duc t o r   f a b r i c a t i o f a c i l i t i e s   f o r   v i s ua l i z i n g   a n d   qua n t i fy i n t h e r m a l   p h e n o m e n a   t o   o pt i m i z e   e n e r gy   us a ge ,   p r e v e n t   c h i p   da m a ge ,   a n e nha n c e   p r o c e s s i n g   e ff i c i e n c y   w i t h   r e a l - t i m e   t h e rm a l   i m a gi n g   a n d   a na l y s i s .   T h i s   e n a b l e s   p r e c i s e   t e m pe r a t u r e   m e a s u r e m e nt   a c r o s s   w a fe r s ,   de t e c t i o n   o f   h o t   s po t s ,   c h a ra c t e ri z a t i o o f   h e a t i n g   a nd  c o o l i n p r o c e s s e s ,   a n d   i de n t i f i c a t i o o f   de fe c t s   s uc h   a s   v o i ds   o r   de l a m i na t i o n ,   e n s u r i n g   t h e rm a l   c o n d uc t i o a n d   de v i c e   r e l i a b i l i t y .         4.   D ETEC TI O N   M ET H O D S   F O R   D I BO N D I N G   D I A TTA C H   O N   P A C K A G ES   A N D   E Q U I P M EN T   D i e   bo n di ng  a nd  di e   a t t a c h   p r o c e s s e s   w i t hi n   s e m i c o n d u c t o r   m a n uf a c t u r i ng  a r e   p i v o t a l   s t a ge s   re qui ri n g   m e t i c ul o us   qua l i t y   c o n t r o l   t o   up h o l d   t h e   r e l i a b i l i t y   a n d   pe r f o r m a n c e   o f   e l e c t r o ni c   de v i c e s .   T h e s e   pr o c e s s e s   a r e   s us c e pt i b l e   t o   v a r i o us   de f e c t s   t ha t   c a n   m a n i f e s t   i b o t h   t h e   s e m i c o n d uc t o r   pa c ka ge s / p r o duc t s   a n d   t h e   e qu i pm e nt   u t i l i z e i t h e   m a nuf a c t u ri n g   p i pe l i n e .   T hi s   s e c t i o de l v e s   i n t o   t h e   c o m m o de f e c t s   a s s o c i a t e w i t h   s e m i c o n duc t o r   p a c ka ge s / p r o duc t s   a nd  e qu i pm e n t ,   s h e ddi ng  l i g ht   o n   a dv a n c e de t e c t i o n   m e t h o do l o gi e s .     4. 1 .     D i e   at tac h m e n an d   d i e   b o n d i n p ac k a ge   d e f e c ts   A m o n g   t h e   c o m m o de f e c t s   a r e   i n c o m pl e t e   s o l de r   j o i n t s   a n d   s o l de b ri dgi ng.   D e t e c t i o m e t h o ds   f o r   s o l de r   j o i nt   de f e c t s   l e v e r a ge   hi g h - r e s o l ut i o i m a g i n g   c o upl e w i t i m a ge   p r o c e s s i n g   t e c hni que s ,   e n a b l i ng  t h e   i de nt i f i c a t i o o f   i n c o m pl e t e   j o i n t s .   D e e l e a rn i ng   m e t h o ds ,   s uc h   a s   c o n v o l ut i o n a l   n e u ra l   n e t w o r ks   (CN N s ) ,   pr o v e   i n s t r u m e nt a l   i c l a s s i fy i n g   di v e r s e   s o l de de f e c t s .   D e t e c t i o n   i n v o l v e s   t h e   us e   o f   m a c h i n e   v i s i o s y s t e m s   e qui ppe w i t a l i g nm e n t   a l go r i t h m s   a n d   p a t t e rn  r e c o gn i t i o n   t o   de t e c t   a n qua nt i fy   s ke w   a nd  o ff s e t   e rr o r s .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2 5 0 2 - 4 7 52       A s s e s s m e nt   of   d e t e c t i on   m e t hods   f or   bac k - e nd   pr oc e s s   de f e c t s   i n   e qu i pm e nt   and   …  ( A m e e r   F ar han   R os l an )   497   T h e   p r e s e n c e   of   c h i ps   o r   c ra c ks   i n   t h e   di e   r e p r e s e n t s   a n o t he r   p r e v a l e nt   de f e c t .   D e t e c t i o n   m e t h o ds   e n c o m pa s s   i m a gi ng   pa i r e w i t CN N s   o s up po r t   v e c t o r   m a c hi n e s   (S V M s )   f o r   t h e   c l a s s i f i c a t i o o f   di s t i n c t   c h i p   a n d   c r a c k   pa t t e rn s   [19] [22] .   D e f e c t s   l i ke   a i po c ke t s   or  i n c o m pl e t e   e po x y   f i l l i n g ,   i na c c ur a t e   p l a c e m e n t   of   t h e   di e   o t h e   s ub s t r a t e ,   v a r i a t i o i t h e   t hi c kn e s s   o f   t h e   b o n d   l i n e   a n d   d i e   f l y - off   o di e   de t a c hm e n t   du ri n g   t h e   b o n di n g   p r o c e s s   c o n s t i t u t e s   c o m m o n   de f e c t s .   O pt i c a l   i n s pe c t i o n ,   i m a ge   a n a l y s i s ,   o r   s pe c t r o s c o p y   a r e   us e t o   i de n t i fy   c o n t a m i n a nt s   f o r   f o r e i g pa rt i c l e s   o dus t s   w i t h i t h e   p a c ka ge s .   F i na l l y ,   o ve r a l l   pa c k a ge   de f e c t s   a f fe c t i n g   r e l i a b i l i t y   c a b e   m i t i g a t e v i a   a c c e l e r a t e t e s t i n g ,   t h e r m a l   c y c l i n g ,   a n d   v a r i o us   N D T   m e t h o ds .     4. 2 .     D i e   at tac h m e n an d   d i e   b o n d i n e q u i p m e n c o m p on e n d e f e c ts   D i e   b o n di n t o o l s   a r e   c r i t i c a l   c o m po n e n t s   i n   s e m i c o n duc t o r   m a n uf a c t u ri n g,   b ut   t h e y   c a a l s o   be   s o ur c e s   of   de fe c t s   i f   n o t   p r o pe rl y   m a i nt a i n e d.   Co m m o i s s ue s   i n c l ude   i m p r o pe r l y   c a l i b ra t e d   b o n h e a ds ,   w o r n - o ut   f o r c e   s e n s o r s ,   c o n t a m i n a t e m i c r o s c o pe s ,   t i l t e w o r k h o l de r s ,   c l o gge d i s pe n s e r s ,   a nd  m i s a l i g n e bo n a r m   m o t i o n s ,   a m a ge   o r   m i s a l i g nm e n t   i pi c k - up   t oo l s ,   w e a r   a n c h i ppi ng  i b o n t o o l s / h e a ds ,   m i s a l i g nm e n t   a n d   w e a r   i w o r kh o l de r s ,   a n d   m e c ha ni c a l   i s s ue s   i n   b o n d   a rm s .   Ca l i b ra t i o i s s ue s   a nd   l e n s   da m a ge   i s c o pe s   a n d   s e n s o r s   a r e   a l s o   p r e v a l e nt   de f e c t s .   T h e s e   p r o b l e m s   c a t ri gge e qui p m e n t   a l a rm s   a nd  c o n t ri b ut e   t o   hi g h e u n s c h e du l e do w n t i m e   (U D T )   a n d   m e a t i m e   b e t w e e n   a s s i s t s   (M T B A ).   E n v i r o nm e nt a l   f a c t o r s   l i ke   t e m pe ra t u r e ,   h u m i d i t y ,   a n v i b ra t i o n,   c o upl e w i t h   p r e v e n t i v e   m a i nt e n a n c e   l a ps e s ,   c a n   a l s o   l e a d   t o   e qui pm e n t   i s s ue s   o v e r   t i m e ,   s uc a s   s t a ge   b a c kl a s a n d   i n c o n s i s t e n t   v i s i o a nd  h e a t i ng.     D e t e c t i o n   of   de f e c t s   i n   di e   b o n di n t o o l s   i n v o l ve s   v a r i o u s   m e t h o ds ,   i n c l ud i n m a c h i n e   v i s i o n,   a l i g n m e n t   a l go r i t hm s ,   i m a ge   p r o c e s s i n g ,   a n d   w e a m o n i t o r i n g   us i ng   s e n s o r s .   D e t e c t i o m e t h o ds   r a nge   f r o m   r e gul a c a l i b r a t i o n   c h e c ks   a n d   v i s ua l   i n s pe c t i o n s   t o   a dv a n c e t e c hni que s   l i ke   S V M ,   CN N ,   a r t i f i c i a l   n e u r a l   n e t w o r ks   (A N N ),   r o b us t   pri n c i p a l   c o m po n e n t   a n a l y s i s   (RP CA ),   r e s i du a l   n e t w o r ks   (R e s N e t ),   ra di a l   b a s i s   f un c t i o (R B F ),   f uz z y   c - m e a n s   (F CM ),   ge n e r a l i z e r e g r e s s i on  n e ura l   n e t w o r (G R N N ),   s e l f - o r ga n i z i ng  m a ps   (S O M ),   l i n e a di s c r i m i na n t   a na l y s i s   (L D A ),   l e a rni n g   v e c t or  qu a nt i z a t i o (L V Q ),   a n d   y o o n l y   l oo o n c e   (Y O L O ).   E a c m e t h o o ff e r s   s pe c i f i c   a dv a n t a ge s ,   c a t e ri n g   t o   t h e   c o m pl e xi t y   a n r e qu i r e m e n t s   o f   t h e   de t e c t i o n   t a s k,   e n s u ri n g   t h e   p r e c i s i o n e c e s s a r y   f o r   a   r o b us t   s e m i c o n duc t o r   m a nuf a c t uri n g   p r o c e s s   a n d   m i t i g a t i ng  b o n de p r o duc t   de f e c t s ,   e n s u ri n g   qu a l i t y ,   y i e l d,   a n d   l o n g - t e r m   r e l i a b i l i t y .     4. 3 .     A s s e s s m e n o p ap e r s   b as e d   o n   b a c k e n d   p r o c e s s e s   T a b l e   ( i n   a ppe n di x)  p r e s e nt s   a e xt e n s i v e   ov e r v i e w   of   v a ri o us   de t e c t i o n   m e t h o ds   u t i l i z e i n   t h e   b a c k - e n m a nuf a c t uri n g   p r o c e s s e s   a l o n g   w i t t h e i pe r f o r m a n c e   m e t r i c s   a s   r e po rt e i n   di f f e r e n t   a rt i c l e s .   D e l v i n i n t o   e a c e nt r y ,   A O ha s   b e e n   u t i l i z e d   w i de l y   t hr o ugh o ut   s e v e r a l   p r o c e s s e s   t o   c o n t i nuo us l y   m o n i t o a n d   m i n i m i z e   p a c ka ge   de f e c t s   t hr o ugh o ut   t h e   b a c ke n pr o c e s s   [23] [28] S e v e r a l   r e s e a r c c o n duc t e d   r e c e n t l y   fo c us e s   o n   m a de t e c t i o i n   P r e - a s s e m b l y   pr o c e s s   a n t e s t i n g ,   r e po r t i n a c c ur a c y   a n p r e c i s i o n   f o r   M L P   a nd  D N N ,   a l o n gs i de   b r o a l e a rni n g   s y s t e m ,   a c h i e v i ng  h i g D S P R   c o m pa r i s o n .   T h e   w a f e r   m a ppi ng  de fe c t s   pe r f o r m a n c e   m e t r i c s   a r e   a l s o   c o m pa r e d   a ga i n s t   v a ri o us   m o de l s   a n d   f e a t u r e   e xt ra c t i o n   t e c hni que s .   H a dda e t   al .   [ 28]   p r o po s e m e t h o a c hi e v e h i g p r e c i s i o a n r e c a l l   v a l ue s   i A O I.   In  [ 29] [3 1] a c o us t i c   s e n s i ng   i n s pe c t i o a r e   ut i l i z e d,   p a rt i c ul a r l y   i S A M ,   w i t 1D - CN N   ut i l i z e fo r   S A M   i m a ge   i n s pe c t i o n ,   p r o v i di n i n s i g ht s   i nt o   po r o s i t y   v a ri a t i o n   du r i ng  b o n di n p r o c e s s e s .   S A M   h a s   a l s o   p r o v e n   t o   e f f e c t i v e l y   pr e c i s e   i de f e c t s   de t e c t i o n ,   a c h i e v i n g   a a c c ura c y   of   97. 1 4%   [23] .   Co m pa ra t i v e l y ,   S A M   i s   a l s o   p r o v e n   t o   b e   e ff e c t i v e   c o m pa r e t o   a n o t h e r a d i o l o g y   i n s pe c t i o n   i n   X - R a y   a n d   S E M   f o r   t h e rm a l   j o i n t   de t e c t i o n   [31] ,   w i t h   a   s t udy   of   X / ga m m a - ra y   s p e c t r o s c o p y   c a rri e o ut   by   [32]   fo r   e l e c t ri c a l   c h a ra c t e ri z a t i o m e a s u r e m e n t ,   r e po r t i ng  de t a i l e pe r f o r m a nc e   m e t ri c s   f o r   t h e   s pe c t r o m e t e r .   T h e rm a l - b a s e i n s pe c t i o n   ha s   a l s o   b e e n   c a rr i e o ut   by   [31],   [3 3] ,   w h e r e by   c o m pa r e d   t o   [31 ] ,   a   s t udy   e m ph a s i s   o n   t h e   o n - l i n e   t h e rm a l   r e s i s t a n c e   du ri n g   di e - a t t a c h ,   h i g h l i g h t i n g   t h e   a c c ur a c y   of   S i C - T E G   f o e v a l ua t i n g   t h e r m a l   c h a ra c t e ri s t i c s .   CN N   ha v e   a l s o   b e e us e t o   p r e di c t   t h e   e l e c t r o - t h e r m a l   c o n duc t i v i t y   (E T C)   o f   s i n t e r e A g.   T h e i r   m o de l   a c h i e v e hi g a c c ura c y   w i t h   a R v a l ue   o f   0. 9 87  a nd  a   r e l a t i v e   m e a n   a b s o l ut e   e r r o r   (R M A E )   of  3. 12%   [1] .   S o l de j o i nt   de f e c t   de t e c t i o ha s   b e e e x t e ns i v e l y   s t u di e d   i re c e nt   y e a rs   i [ 2 1] ,   [ 25 ] ,   [2 6] ,   [ 3 4] [3 8] V a r i o us   m e t h o ds   a nd  m o de l l i n gs   h a v e   b e e n   t e s t e d,   w i t o n e   f o c us e s   o n   c h i p   s c a l e   pa c ka ge s   ( CS P r e l i a b i l i t y ,   a c h i e v i n g   v a l i da t i o m e t r i c s   i n c l ud i n g   R M S E CV ,   M A E CV ,   a n d   R f o r   b a l l / s ub s t r a t e   a nd  b a l l / t e s t   bo a r d   s o l de j o i nt s .   S o l de j o i n t   de f e c t   de t e c t i o n   ha s   a l s o   b e e n   t e s t e v i a   S e que nt i a l   N N ,   r e c u rr e n t   n e u ra l   n e t w o r (R N N ),   a nd  l o n s h o rt - t e rm   m e m o r y   (L S T M fo r   s o l de r   j o i n t   de t e c t i o n ,   r e po r t i n l o w   e r r o r   n o r m s   fo r   di f f e r e n t   d a t a   pa i r s .   A N N   a n d   R N N   de m o n s t r a t e d   s t a b l e   o pt i m i z a t i o f o t h e   s o l de j o i nt   de f e c t   de t e c t i o n ,   w i t h   Y O L O v f o r   de t e c t i ng  s o l de de f e c t s   i n   S M T   c i rc ui t   e l e m e n t s   w i t h i g a c c ur a c y   a n d   s pe e d.   A l t e rna t i v e l y ,   Co n v N e X t - Y O L O X   f o r   s o l de j o i n t   i n s pe c t i o n,   a c h i e v i n g   t h e   h i g h e s t   m A P   a m o n g   c o m pa r e m e t h o ds .   T a i   e t   a l   [38] .   e m p l oy e Y O L O v &   Re s N e t - 50  fo r   s o l de r   j o i n t   de f e c t   r e c o gn i t i o n,   r e po r t i n hi g a c c ur a c y   fo r   di f f e r e n t   de f e c t   t y p e s .   T ha t   s a i d ,   Y O L O   a r e   a l s o   ut i l i z e f o s o l de de f e c t   de t e c t i o i A O I ,   a c hi e v i n g   f a s t   p r o c e s s i n t i m e   pe P CB   i m a ge .   V i B e   a n d   + E l a s t i c n e t   h a v e   a l s o   b e e n   us e f o r   s o l de r   j o i nt   i n s pe c t i o n ,   hi g hl i g ht i ng  s i g ni f i c a n t   i m p r o v e m e n t s   i e rr o r   r a t e s   a n a c c ura c y .   S o l de r   j o i n t   i n s pe c t i o n   f o r   A O us i n v a ri o us   m e t h o ds   a nd  r e po rt e di f f e r e n t   pe r f o r m a n c e   m e t r i c s   f o r   e a c m e t h o d.   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2 5 0 2 - 4 7 52   In do n e s i a n   J   E l e c   E ng   &   Co m S c i V o l .   41 ,   N o .   2 F e b r ua r y   20 2 6 :   4 94 - 503   498   W i r e   b o n di n p r o c e s s   c a n   b e   f ur t h e i m p r o v e i n   m a n uf a c t uri n g ,   by   r e duc i ng  i t s   b a l l   b o n di ng  a nd  w i r e   b o n di n g   de f e c t s .   S V M ,   l o gi s t i c   r e g r e s s i o n   (L R ),   a n d   C N N   m o de l s   a r e   p r o v e n   by   [22]   t o   b e   e ffe c t i ve   fo r   b a l l   b o n di n i n s pe c t i o n,   a c h i e v i ng  a 85%  a ut o m a t e de t e c t i o n   ra t e .   D e n s e N e t 121,   V G G 1 9,   R e s N e t 50,   M ob i l e N e t v 2,   E f f i c i e n t N e t B V &   V 2   e m pl o y e fo r   w i r e   b o n de f e c t   de t e c t i o n ,   a c hi e v i n g   h i g a c c ur a c y   a c r o s s   di f f e r e n t   m o de l s .   A   ut i l i t a r i a n   m e t h o by   [2]   s how c a s e s   CN N   c o m b i n e w i t h   c o m put e r - a i de m a n uf a c t u ri n g   (CA M ) ,   Y O L O v 3,   a nd  Y O L O v 3 - de n s e   f o r   i n s pe c t i n g   v a r i o us   p r o c e s s e s   l i ke   di e   a t t a c h,   w i r e   bo n d,   m o l d i n g,   c u r i n g ,   pu n c h i n g ,   s o r t i ng,   t a pi ng,   a nd  p a c ki n g .   T h e   pe r f o r m a n c e   v a r i e f o r   d i f f e r e n t   de f e c t   t y p e s ,   w i t h   m A P   r a ngi n g   f r o m   61. 5 9%   t o   95. 2 8% .   W a f e r   l e v e l   pa c ka ge   (W L P r e l i a b i l i t y   a nd  s o l de b a l l   r e l i a b i l i t y   h a v e   a l s o   b e e n   t e s t e v i a   f i n i t e   e l e m e nt   m e t h o (F E M a n d   A N N .   D i e   de f e c t s   de t e c t i o n   ha s   b e e n   a na l y z e i n   s e v e r a l   w o r ks   [2],   [3] ,   [5 ],   [9],   [39] .   G e n e r a t i v e   a dv e r s a r i a l   n e t w o r k   (G A N ),   Y O L O v 3,   a nd   o t h e m o de l s   a r e   e m pl o y e f o r   di e   de f e c t   de t e c t i o n ,   a c hi e v i n g   s i g n i f i c a n t   i m p r o v e m e n t s   i n   a c c ur a c y   w i t h   m o de l   c o m b i na t i o n s .   D i e   de f e c t   de t e c t i o n   us i n a u t o   M L ,   m e a n w h i l e   h a s   a c h i e v e a   r e c a l l   r a t e   o f   42. 6%  w i t h   90%  a c c ur a c y .   R e s N e t   101  &   D L A D S E M ,   CN N   a n d   GA N   fo r   de f e c t   de t e c t i o n   ha s   p r o v e n   t o   r e s ul t s   i a c c ura c y   fo r   di f f e r e n t   s ub s e t s   a n t r a i n i ng  d a t a   s i z e s .   r e po rt i n hi g a c c ura c y   fo r   b o t h   m e t h o ds .   M e a n w hi l e ,   di e   de f e c t   c l a s s i f i c a t i o n   t h e   a c c ura c y   be t w e e n   ha n dc r a f t e f e a t u r e s   a nd  p r o po s e R CN N   m o de l   ha v e   a l s o   b e e n   c a rri e o ut   w i t c o m pa r a t i v e   s t udi e s   b e i n m a de .   B y   c o m pa r i ng   t h e   R N E T ,   V o xN E T ,   a n d   P o i n t N e t   f o s c a nni n g   a nd   i n s pe c t i ng   di e   a t t a c g l ue   b o n di n g ,   r e po rt i n g   R N E T   o ut pe r f o r m i ng  o t h e r s   w i t a   c l a s s i f i c a t i o a c c u r a c y   of   91. 82% .   D i e   a t t a c gl ue   v o l um e   r e g r e s s i o n   a n d i s pe n s i n de f e c t   i de n t i f i c a t i o n   v i a   R 2 e s N e t ,   h a v e   a l s o   s h o w c a s e s   de s i r a b l e   pe r f o r m a n c e   m e t r i c s   f o v a ri o us   m o de l s   b a s e d   o s c a nn i ng   t i m e   a n d   i n f e re n c e   t i m e   s t udy   [30] .   S u r f a c e   t r e a t m e nt   a n d   f i n a l   t e s t   p r o c e s s e s   m e a n w hi l e   us e s   s e ve r a l   m e t h o ds   i n   o pt i m i z i n t h e   p r o c e s s   de f e c t s ,   w i t s u r f a c e   t r e a t m e nt   p r o c e s s   e m p l o y i n g   v a ri o us   C N N   m e t ho ds   f o r   pe r f o rm a n c e   m e t ri c s   c o m p a ra t i v e   a pp r o a c [ 40 ] ,   [ 41 ] .   CN N   a nd  D L A D m e t h o ds   f o r   s u r f a c e   t r e a t m e n t   r e po r t i ng  hi g h   a c c ura c y .   G a us s i a m i xt u r e   m o de l s o n e   h o t   e n c o de r l a b e l   e n c o de r ,   F 1 - m a c r o   t e s t   a r e   a l l   e xpl o r e b y   [42]   y i e l c l a s s i f i c a t i o f o r   f i na l   t e s t ,   e m pl o y i n v a ri o us   m o de l s   a n d   p r e p r o c e s s i n t e c hn i que s ,   r e po r t i n g   F 1 - m a c r o   s c o r e s .       5.   C O N C LU S I O N   D e fe c t   de t e c t i o n   i s   i n d i s pe n s a b l e   i s e m i c o n duc t o r   m a nuf a c t u r i ng   t o   e n s u r e   p r o duc t   q ua l i t y   a n d   r e l i a b i l i t y .   F r o m   t h e   r e v i e w ,   i t ' s   e v i de nt   t h a t   de f e c t s   c a a ri s e   f r o m   v a r i o us   s o ur c e s ,   i n c l u di n g   t h e   p r o duc t   i t s e l f   a n t h e   e qui p m e n t   us e i m a n uf a c t u ri n p r o c e s s e s .   D e t e c t i n g   de f e c t s   duri n g   b a c ke n p r o c e s s e s   l i ke   di e   a t t a c a n d   di e   b o n di n g   i s   c r i t i c a l   t o   p r e v e n t   i s s ue s   w h i c h   c a l e a d   t o   m a l f un c t i o n i ng   c hi ps   o de v i c e s .   V a r i o us   t e c hni que s   s uc a s   v i s u a l   i n s pe c t i o n,   A O I,   a nd  X - ra y   i m a gi n g   a r e   e m pl o y e t o   i de n t i f y   de f e c t s ,   w i t h   a dv a n c e m e n t s   i n   m e t h o ds   l i ke   CN N s   p r o v i n t o   b e   h i g hl y   e ffe c t i ve   a s   h i g h l i g h t e v i a   pl e t h o ra   o f   s t udi e s   fo c us i n o n   di f f e r e n t   a s pe c t s   of   de f e c t   de t e c t i o n ,   ra n g i n f r o m   s o l de r   j o i nt   de f e c t s   t o   w a fe r   m a pp i n de f e c t s ,   a n f r o m   w i r e   b o n d i n t o   di e   de f e c t s .   O v e r a l l ,   t h e   r e s e a r c s h o w c a s e i t h e   r e v i e w   e m pha s i z e s   t h e   i m po rt a n c e   o f   r i go r o us   de fe c t   de t e c t i o n   m e a s u r e s   i n   s e m i c o n duc t o r   m a n uf a c t u r i ng.   By   e m pl oy i n t h e s e   m e a s u r e s ,   m a nuf a c t u r e r s   c a up h o l d   s t ri n ge n t   qu a l i t y   s t a n d a r ds   a n d   p r o duc e   r e l i a b l e   s e m i c o n duc t o de v i c e s   fo r   a   w i de   ra n ge   o f   a pp l i c a t i o n s .   M o r e o ve r ,   t h e   c o nt i n u a l   a dv a n c e m e n t   o f   de t e c t i o n   m e t h o ds   a n d   t e c hn o l o gi e s   unde r s c o r e s   t h e   i n dus t r y ' s   c o m m i t m e n t   t o   e nha n c i n g   p r o duc t   q ua l i t y   a n d   r e l i a b i l i t y   i n   t h e   e v e r - e vo l v i n g   s e m i c o n duc t o l a n ds c a pe .   W i t m o s t   s t u di e s   c a rri e o ut   f o c us e s   o n   de f e c t   de t e c t i o n   o de v i c e   o r   pa c ka ge ,   f ut u r e   w o r w i l l   i n v o l v e   f ur t h e r   i nt o   de v e l o pi n a   de f e c t   de t e c t i o n   s y s t e m   o n   t h e   s e m i c o n duc t o r   e qui pm e n t ,   p a rt i c ul a r l y   fo r   t h e   di e   b o n d   p r o c e s s .       A C K N O WL ED G E M EN TS   T h i s   w o r w a s   s uppo rt e d   by   U T e M   Z a m a l a S c h e m e .   T h e   a ut h o r s   w o ul a l s o   l i ke   t o   t ha n k   Ce n t e fo r   R e s e a r c a n d   I nn o v a t i o M a na ge m e n t   ( CR IM ),   Ce nt r e   fo r   T e l e c o m m uni c a t i o R e s e a r c &   I nn o v a t i o n   (Ce T R I),   a nd  U ni v e r s i t i   T e k ni ka l   M a l a y s i a   M e l a k a   (U T e M fo r   t h e i e n c o ura ge m e n t   a n d   s po n s o r s hi t o w a r ds   t hi s   s t u dy .         F U N D I N G   I N F O R M A TI O N   T h e   a u t h o r s   s t a t e   n o   f undi n g   i s   i n v o l v e d.       A U TH O R   C O N TR I B U TI O N S   S TA T EM EN T   T h i s   j o urna l   us e s   t h e   Co n t ri b ut o R o l e s   T a xo n o m y   (CR e di T t o   r e c o gn i z e   i n d i v i dua l   a ut h o c o n t ri b ut i o n s ,   r e duc e   a ut h o r s hi p   di s pu t e s ,   a n d   f a c i l i t a t e   c o l l a bo r a t i o n.       Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2 5 0 2 - 4 7 52       A s s e s s m e nt   of   d e t e c t i on   m e t hods   f or   bac k - e nd   pr oc e s s   de f e c t s   i n   e qu i pm e nt   and   …  ( A m e e r   F ar han   R os l an )   499   N am e   o A u th o r   C   M   So   Va   Fo   I   R   D   O   E   Vi   Su   P   Fu   A m e e r   F a rh a R o s l a n                               M a s rul l i z a m   M a t   Ib r a hi m                               N i M o hd  Z a ri f i e   H a s h i m                               M o h S y a hr i A m r i                               T o l e   S ut i k n o                                 C     C o n c e p t u a l i z a t i o n   M     M e t h o d o l o g y   So     So f t w a r e   Va     Va l i d a t i o n   Fo     Fo r m a l   a n a l y s i s   I     I n v e s t i g a t i o n   R     R e s o u rc e s   D   :   D a t a   Cu ra t i o n   O   :   W ri t i n g   -   O ri g i n a l   D ra ft   E   :   W ri t i n g   -   Re v i e w   &   E d i t i n g   Vi     Vi s u a l i z a t i o n   Su     Su p e r v i s i o n   P     P ro j e c t   a d m i n i s t ra t i o n   Fu     Fu n d i n g   a c q u i s i t i o n         C O N F LI C O F   I N T ER ES S TA T EM EN T   T h e   a u t h o r s   s t a t e   n o   c o n f l i c t   o f   i n t e r e s t .       D A TA   A V A I LA B I LI T Y     D a t a   a v a i l a b i l i t y   do e s   n o t   a p pl y   t o   t hi s   p a pe r   a s   n o   n e w   da t a   w e r e   c r e a t e o a na l y z e i t hi s   s t u dy .       R EF ER EN C ES   [1 ]   E .   D .   S a n d ru ,   E .   D a v i d ,   I .   K o v a c s ,   A .   Bu z o ,   C.   Bu ri l e a n u ,   a n d   G .   P e l z ,   M o d e l i n g   t h e   D e p e n d e n c y   o A n a l o g   C i r c u i t   P e r fo r m a n c e   P a ra m e t e r s   o n   M a n u f a c t u ri n g   P r o c e s s   V a ri a t i o n s   w i t h   A p p l i c a t i o n s   i n   S e n s i t i v i t y   A n a l y s i s   a n d   Y i e l d   P r e d i c t i o n ,   IE E E   T r a n s a c t i o n s   o n   Co m p u t e r - A i d e d   D e s i g n   o f   In t e g r a t e d   Ci r c u i t s   a n d   S y s t e m s ,   v o l .   4 1 ,   n o .   1 ,   p p .   1 2 9 1 4 2 ,   J a n .   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / T CA D . 2 0 2 1 . 3 0 5 4 8 0 4 .   [2 ]   E .   H o s s e i n z a d e h   e t   a l . ,   Q u a n t i f y i n g   c e l l - to - c e l l   v a r i a t i o n s   o f   a   p a ra l l e l   b a t t e r y   m o d u l e   fo d i ffe r e n t   p a c k   c o n f i g u ra t i o n s ,   A p p l i e d   E n e r g y ,   v o l .   2 8 2 ,   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . a p e n e r g y . 2 0 2 0 . 1 1 5 8 5 9 .   [3 ]   Z .   X i e ,   S .   C h e n ,   S .   Z h a n g ,   Y .   P e i ,   L .   L i ,   a n d   P .   W u ,   E n h a n c e d   p e r fo r m a n c e   o f   f i b e r - b a s e d   p e r o v s k i t e   s o l a c e l l   a c h i e v e d   b y   m u l t i - f u n c t i o n a l   h i g h   p o l y m e r   d o p i n g   s t ra t e g y ,   J o u r n a l   o f   Co l l o i d   a n d   In t e r f a c e   S c i e n c e ,   v o l .   6 6 3 ,   p p .   3 0 9 3 2 8 ,   J u n .   2 0 2 4 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . j c i s . 2 0 2 4 . 0 2 . 1 4 7 .   [4 ]   S .   L a m p m a n ,   M .   M u l h e ri n ,   a n d   R .   S h i p l e y ,   N o n d e s t ru c t i v e   T e s t i n g   i n   F a i l u re   A n a l y s i s ,   J o u r n a l   o f   F a i l u r e   A n a l y s i s   a n d   P r e v e n t i o n ,   v o l .   2 2 ,   n o .   1 ,   p p .   6 6 9 7 ,   F e b .   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 0 0 7 / s 1 1 6 6 8 - 021 - 01325 - 1.   [5 ]   M .   G u p t a ,   M .   A .   K h a n ,   R.   Bu t o l a ,   a n d   R.   M .   S i n g a ri ,   A d v a n c e s   i n   a p p l i c a t i o n s   o N o n - D e s t ru c t i v e   T e s t i n g   (N D T ):   A   re v i e w ,   A d v a n c e s   i n   M a t e r i a l s   a n d   P r o c e s s i n g   T e c h n o l o g i e s ,   v o l .   8 ,   n o .   2 ,   p p .   2 2 8 6 2 3 0 7 ,   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 0 8 0 / 2 3 7 4 0 6 8 X . 2 0 2 1 . 1 9 0 9 3 3 2 .   [6 ]   H .   K w a k ,   S .   Ry u ,   S .   C h o ,   J .   K i m ,   Y .   Y a n g ,   a n d   J .   K i m ,   N o n - d e s t ru c t i v e   t h i c k n e s s   c h a ra c t e r i s a t i o n   o 3 D   m u l t i l a y e r   s e m i c o n d u c t o r   d e v i c e s   u s i n g   o p t i c a l   s p e c t ra l   m e a s u r e m e n t s   a n d   m a c h i n e   l e a rn i n g ,   L i g h t A d v a n c e d   M a n u f a c t u r i n g ,   v o l .   2 ,   n o .   1 ,   p p .   9 1 9 ,   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 3 7 1 8 8 / l a m . 2 0 2 1 . 0 0 1 .   [7 ]   Y .   H .   T a o ,   A .   J .   F i t z g e ra l d ,   a n d   V .   P .   W a l l a c e ,   N o n - c o n t a c t ,   n o n - d e s t ru c t i v e   t e s t i n g   i n   v a ri o u s   i n d u s t ri a l   s e c t o r s   w i t h   t e ra h e rt z   t e c h n o l o g y ,   S e n s o r s   ( S w i t z e r l a n d ) ,   v o l .   2 0 ,   n o .   3 ,   p .   7 1 2 ,   J a n .   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / s 2 0 0 3 0 7 1 2 .   [8 ]   A .   K u m a a n d   W .   A r n o l d ,   H i g h   r e s o l u t i o n   i n   n o n - d e s t ru c t i v e   t e s t i n g :   A   r e v i e w ,   J o u r n a l   o f   A p p l i e d   P h y s i c s ,   v o l .   1 3 2 ,   n o .   1 0 ,   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 0 6 3 / 5 . 0 0 9 5 3 2 8 .   [9 ]   M .   H u ff,   M i c r o s y s t e m s   M a n u f a c t u ri n g   M e t h o d s :   I n t e g ra t e d   Ci r c u i t   P r o c e s s i n g   S t e p s ,   2 0 2 0 ,   p p .   4 5 9 7 .   d o i :   1 0 . 1 0 0 7 / 9 7 8 - 3 - 030 - 4 0 5 6 0 - 1_3.   [1 0 ]   U .   H i l l e ri n g m a n n ,   M e t a l l i z a t i o n   a n d   C o n t a c t s ,   i n   S i l i c o n   S e m i c o n d u c t o r   T e c h n o l o g y ,   W i e s b a d e n :   S p ri n g e F a c h m e d i e n   W i e s b a d e n ,   2 0 2 3 ,   p p .   123 1 3 8 .   d o i :   1 0 . 1 0 0 7 / 9 7 8 - 3 - 658 - 41041 - 4_8.   [1 1 ]   L .   Y e   a n d   Q .   G u o ,   P a c k a g i n g   a n d   A s s e m b l y   E q u i p m e n t ,   i n   H a n d b o o k   o f   In t e g r a t e d   Ci r c u i t   In d u s t r y ,   S i n g a p o r e :   S p ri n g e r   N a t u re   S i n g a p o r e ,   2 0 2 3 ,   p p .   1 5 6 9 1 6 0 2 .   d o i :   1 0 . 1 0 0 7 / 9 7 8 - 981 - 99 - 2836 - 1 _ 7 1 .   [1 2 ]   K .   K e n n e s   e t   a l . ,   In t r o d u c t i o n   o f   a   N e w   Ca rr i e S y s t e m   fo C o l l e c t i v e   D i e - to - W a f e r   H y b ri d   B o n d i n g   a n d   L a s e r - A s s i s t e d   D i e   T ra n s fe r,   i n   2 0 2 0   IE E E   7 0 t h   E l e c t r o n i c   Co m p o n e n t s   a n d   T e c h n o l o g y   Co n f e r e n c e   ( E CT C) ,   IE E E ,   J u n .   2 0 2 0 ,   p p .   2 9 6 3 0 2 .   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / E CT C3 2 8 6 2 . 2 0 2 0 . 0 0 056.   [1 3 ]   A .   R.   A .   Ra h m a n   a n d   N .   A .   N a y a n ,   T h i n   a n d   R e c t a n g u l a D i e   Bo n d   P i c k - U p   M e c h a n i s m   t o   R e d u c e   Cra c k i n g   D u ri n g   t h e   In t e g ra t e d   Ci r c u i t   A s s e m b l y   P r o c e s s ,   A d v a n c e s   i n   S c i e n c e   a n d   T e c h n o l o g y   R e s e a r c h   J o u r n a l ,   v o l .   1 4 ,   n o .   3 ,   p p .   5 7 6 4 ,   S e p .   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 1 2 9 1 3 / 2 2 9 9 8 6 2 4 / 1 2 3 7 7 9 .   [1 4 ]   V .   Re s h a d a t   a n d   R.   A .   J .   W .   K a p t e i j n s ,   I m p r o v i n g   t h e   P e r fo r m a n c e   o f   A u t o m a t e d   O p t i c a l   I n s p e c t i o n   ( A O I)  U s i n g   M a c h i n e   L e a r n i n g   C l a s s i f i e r s ,   i n   P r o c e e d i n g s   o f   2 0 2 1   I n t e r n a t i o n a l   Co n f e r e n c e   o n   D a t a   a n d   S o f t w a r e   E n g i n e e r i n g D a t a   a n d   S o f t w a r e   E n g i n e e r i n g   f o r   S u p p o r t i n g   S u s t a i n a b l e   D e v e l o p m e n t   G o a l s ,   ICo D S E   2 0 2 1 ,   IE E E ,   N o v .   2 0 2 1 ,   p p .   1 5 .   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / ICo D S E 5 3 6 9 0 . 2 0 2 1 . 9 6 4 8 4 4 5 .   [1 5 ]   J .   P .   P o n p o n ,   S e m i c o n d u c t o d e t e c t o r s   fo r   2 D   X - ra y   i m a g i n g ,   Nu c l e a r   I n s t r u m e n t s   a n d   M e t h o d s   i n   P h y s i c s   R e s e a r c h ,   S e c t i o n   A A c c e l e r a t o r s ,   S p e c t r o m e t e r s ,   D e t e c t o r s   a n d   A s s o c i a t e d   E q u i p m e n t ,   v o l .   5 5 1 ,   n o .   1 ,   p p .   1 5 2 6 ,   O c t .   2 0 0 5 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . n i m a . 2 0 0 5 . 0 7 . 0 3 8 .   [1 6 ]   V .   H .   V a r t a n i a n ,   R .   A .   A l l e n ,   L .   S m i t h ,   K .   H u m m l e r,   S .   O l s o n ,   a n d   B.   S a p p ,   M e t r o l o g y   N e e d s   fo r   2 . 5 D / 3 D   I n t e r c o n n e c t s ,   i n   H a n d b o o k   o f   3 D   In t e g r a t i o n ,   W i l e y ,   2 0 1 4 ,   p p .   3 9 3 4 3 0 .   d o i :   1 0 . 1 0 0 2 / 9 7 8 3 5 2 7 6 7 0 1 0 9 . c h 2 9 .   [1 7 ]   C.   D .   H a r t f i e l d ,   T .   M .   M o o r e ,   a n d   S e b a s t i a n   Bra n d ,   A c o u s t i c   M i c r o s c o p y   o f   S e m i c o n d u c t o P a c k a g e s ,   i n   M i c r o e l e c t r o n i c s   F a i l u r e   A n a l y s i s   D e s k   R e f e r e n c e ,   2 0 1 9 ,   p .   6 7 .     [1 8 ]   D .   M a n d a l   a n d   S .   Ba n e rj e e ,   S u r f a c e   A c o u s t i c W a v e   ( S A W )   S e n s o rs :   P h y s i c s ,   M a t e ri a l s ,   a n d   A p p l i c a t i o n s ,   S e n s o r s ,   v o l .   2 2 ,   n o .   3 ,   p .   8 2 0 ,   J a n .   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / s 2 2 0 3 0 8 2 0 .   [1 9 ]   C.   D u   e t   a l . ,   H i g h l y   a c c u ra t e   a n d   e ffi c i e n t   p r e d i c t i o n   o f   e ffe c t i v e   t h e r m a l   c o n d u c t i v i t y   o f   s i n t e r e d   s i l v e b a s e d   o n   d e e p   l e a r n i n g   m e t h o d ,   In t e r n a t i o n a l   J o u r n a l   o f   H e a t   a n d   M a s s   T r a n s f e r ,   v o l .   2 0 1 ,   2 0 2 3 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . i j h e a t m a s s t ra n s fe r. 2 0 2 2 . 1 2 3 6 5 4 .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2 5 0 2 - 4 7 52   In do n e s i a n   J   E l e c   E ng   &   Co m S c i V o l .   41 ,   N o .   2 F e b r ua r y   20 2 6 :   4 94 - 503   500   [2 0 ]   S .   H .   C h e n   a n d   C.   C .   T s a i ,   S M D   L E D   c h i p s   d e fe c t   d e t e c t i o n   u s i n g   a   Y O L O V 3 - d e n s e   m o d e l ,   A d v a n c e d   E n g i n e e r i n g   In f o r m a t i c s ,   v o l .   4 7 ,   p .   1 0 1 2 5 5 ,   J a n .   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . a e i . 2 0 2 1 . 1 0 1 2 5 5 .   [2 1 ]   H .   H a m d a n i ,   A .   E l   H a m i ,   a n d   B.   Ra d i ,   R e l i a b i l i t y   a n a l y s i s   o f   t a p e   b a s e d   c h i p - s c a l e   p a c k a g e s   b a s e d   m e t a m o d e l ,   M i c r o e l e c t r o n i c s   R e l i a b i l i t y ,   v o l .   1 0 2 ,   p .   1 1 3 4 4 5 ,   N o v .   2 0 1 9 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . m i c r o r e l . 2 0 1 9 . 1 1 3 4 4 5 .   [2 2 ]   K .   Y .   C h a n ,   K .   F .   C.   Y i u ,   H .   K .   L a m ,   a n d   B.   W .   W o n g ,   Ba l l   b o n d i n g   i n s p e c t i o n s   u s i n g   a   c o n j o i n t   f ra m e w o rk   w i t h   m a c h i n e   l e a r n i n g   a n d   h u m a n   j u d g e m e n t ,   A p p l i e d   S o f t   Co m p u t i n g ,   v o l .   1 0 2 ,   p .   1 0 7 1 1 5 ,   A p r.   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . a s o c . 2 0 2 1 . 1 0 7 1 1 5 .   [2 3 ]   A .   W a t a n a b e ,   N .   H i r o s e ,   H .   K i m ,   a n d   I.   O m u ra ,   C o n v o l u t i o n a l   n e u ra l   n e t w o rk   (CN N s b a s e d   i m a g e   d i a g n o s i s   fo f a i l u r e   a n a l y s i s   o p o w e d e v i c e s ,   M i c r o e l e c t r o n i c s   R e l i a b i l i t y ,   v o l .   1 0 0 1 0 1 ,   p .   1 1 3 3 9 9 ,   S e p .   2 0 1 9 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . m i c r o r e l . 2 0 1 9 . 1 1 3 3 9 9 .   [2 4 ]   W .   D a i ,   A .   M u j e e b ,   M .   E r d t ,   a n d   A .   S o u ri n ,   S o l d e ri n g   d e fe c t   d e t e c t i o n   i n   a u t o m a t i c   o p t i c a l   i n s p e c t i o n ,   A d v a n c e d   E n g i n e e r i n g   In f o r m a t i c s ,   v o l .   4 3 ,   p .   1 0 1 0 0 4 ,   J a n .   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . a e i . 2 0 1 9 . 1 0 1 0 0 4 .   [2 5 ]   A .   Ca l i s k a n   a n d   G .   G u rk a n ,   D e s i g n   a n d   r e a l i z a t i o n   o a n   a u t o m a t i c   o p t i c a l   i n s p e c t i o n   s y s t e m   f o P CB   s o l d e r   j o i n t s ,   i n   2 0 2 1   In t e r n a t i o n a l   Co n f e r e n c e   o n   INn o v a t i o n s   i n   In t e l l i g e n t   S y s T e m s   a n d   A p p l i c a t i o n s ,   INIS T A   2 0 2 1   -   P r o c e e d i n g s ,   IE E E ,   A u g .   2 0 2 1 ,   p p .   1 6 .   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / IN IS T A 5 2 2 6 2 . 2 0 2 1 . 9 5 4 8 4 3 0 .   [2 6 ]   W .   C h e n ,   N .   Ca i ,   H .   W a n g ,   J .   L i n ,   a n d   H .   W a n g ,   A u t o m a t i c   o p t i c a l   i n s p e c t i o n   s y s t e m   fo IC   s o l d e r   j o i n t   b a s e d   o n   l o c a l - to - g l o b a l   e n s e m b l e   l e a rn i n g ,   S o l d e r i n g   a n d   S u r f a c e   M o u n t   T e c h n o l o g y ,   v o l .   3 3 ,   n o .   2 ,   p p .   6 5 7 4 ,   M a r.   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 8 / S S M T - 03 - 2020 - 0 0 1 1 .   [2 7 ]   S .   H .   C h e n ,   C .   H .   K a n g ,   a n d   D .   B .   P e rn g ,   D e t e c t i n g   a n d   m e a s u ri n g   d e fe c t s   i n   w a fe r   d i e   u s i n g   g a n   a n d   y o l o v 3 ,   A p p l i e d   S c i e n c e s   ( S w i t z e r l a n d ) ,   v o l .   1 0 ,   n o .   2 3 ,   p .   8 7 2 5 ,   D e c .   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / a p p 1 0 2 3 8 7 2 5 .   [2 8 ]   B.   M .   H a d d a d ,   S .   F .   D o d g e ,   L .   J .   K a ra m ,   N .   S .   P a t e l ,   a n d   M .   W .   Bra u n ,   L o c a l l y   A d a p t i v e   S t a t i s t i c a l   Ba c k g r o u n d   M o d e l i n g   w i t h   D e e p   L e a r n i n g - Ba s e d   F a l s e   P o s i t i v e   R e j e c t i o n   fo r   D e fe c t   D e t e c t i o n   i n   S e m i c o n d u c t o U n i t s ,   I E E E   T r a n s a c t i o n s   o n   S e m i c o n d u c t o r   M a n u f a c t u r i n g ,   v o l .   3 3 ,   n o .   3 ,   p p .   3 5 7 3 7 2 ,   A u g .   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / T S M . 2 0 2 0 . 2 9 9 8 4 4 1 .   [2 9 ]   S .   Bra n d ,   M .   K o e g e l ,   F .   A l t m a n n ,   a n d   L .   Ba c h ,   D e e p   L e a r n i n g   a s s i s t e d   q u a n t i t a t i v e   A s s e s s m e n t   o t h e   P o ro s i t y   i n   A g - S i n t e r   j o i n t s   b a s e d   o n   n o n d e s t ru c t i v e   a c o u s t i c   i n s p e c t i o n ,   i n   P r o c e e d i n g s   -   E l e c t r o n i c   Co m p o n e n t s   a n d   T e c h n o l o g y   Co n f e r e n c e ,   IE E E ,   J u n .   2 0 2 1 ,   p p .   8 7 7 8 8 4 .   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / E CT C3 2 6 9 6 . 2 0 2 1 . 0 0 1 4 7 .   [3 0 ]   N .   D i m i t r i o u   e t   a l . ,   F a u l t   D i a g n o s i s   i n   M i c r o e l e c t r o n i c s   A t t a c h m e n t   V i a   D e e p   L e a rn i n g   A n a l y s i s   o f   3 - D   L a s e S c a n s ,   I E E E   T r a n s a c t i o n s   o n   In d u s t r i a l   E l e c t r o n i c s ,   v o l .   6 7 ,   n o .   7 ,   p p .   5 7 4 8 5 7 5 7 ,   J u l .   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / T IE . 2 0 1 9 . 2 9 3 1 2 2 0 .   [3 1 ]   M .   S .   R o s m a n ,   N .   Bu n i y a m i n ,   a n d   M .   H .   A .   H a l i m ,   C h a ra c t e ri z a t i o n   o f   v o i d s   i n   t h e r m a l   j o i n t   o f   s e m i c o n d u c t o p a c k a g e   u s i n g   s c a n n i n g   a c o u s t i c   m i c r o s c o p e ,   i n   A I P   Co n f e r e n c e   P r o c e e d i n g s ,   2 0 2 1 ,   p .   0 2 0 1 7 2 .   d o i :   1 0 . 1 0 6 3 / 5 . 0 0 4 5 1 9 3 .   [3 2 ]   C.   S .   B o d i e ,   G .   L i o l i o u ,   a n d   A .   M .   Ba r n e t t ,   H a rd   X - ra y   a n d   γ - ra y   s p e c t r o s c o p y   a t   h i g h   t e m p e ra t u r e s   u s i n g   a   CO T S   S i C   p h o t o d i o d e ,   Nu c l e a r   In s t r u m e n t s   a n d   M e t h o d s   i n   P h y s i c s   R e s e a r c h ,   S e c t i o n   A :   A c c e l e r a t o r s ,   S p e c t r o m e t e r s ,   D e t e c t o r s   a n d   A s s o c i a t e d   E q u i p m e n t ,   v o l .   9 8 5 ,   p .   1 6 4 6 6 3 ,   J a n .   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . n i m a . 2 0 2 0 . 1 6 4 6 6 3 .   [3 3 ]   D .   K i m   e t   a l . ,   O n l i n e   T h e r m a l   R e s i s t a n c e   a n d   R e l i a b i l i t y   Ch a ra c t e ri s t i c   M o n i t o r i n g   o f   P o w e M o d u l e s   w i t h   A g   S i n t e J o i n i n g   a n d   P b ,   P b - F r e e   S o l d e r s   d u ri n g   P o w e r   Cy c l i n g   T e s t   b y   S i T E G   Ch i p ,   IE E E   T r a n s a c t i o n s   o n   P o w e r   E l e c t r o n i c s ,   v o l .   3 6 ,   n o .   5 ,   p p .   4 9 7 7 4 9 9 0 ,   M a y   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / T P E L . 2 0 2 0 . 3 0 3 1 6 7 0 .   [3 4 ]   C.   C.   A .   Y u a n   a n d   C.   C .   L e e ,   S o l d e J o i n t   R e l i a b i l i t y   M o d e l i n g   b y   S e q u e n t i a l   A rt i f i c i a l   N e u ra l   N e t w o rk   fo r   G l a s s   W a fe L e v e l   Ch i p   S c a l e   P a c k a g e ,   I E E E   A c c e s s ,   v o l .   8 ,   p p .   1 4 3 4 9 4 1 4 3 5 0 1 ,   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / A CCE S S . 2 0 2 0 . 3 0 1 4 1 5 6 .   [3 5 ]   C.   Y u a n ,   X .   F a n ,   a n d   G .   Z h a n g ,   S o l d e r   j o i n t   r e l i a b i l i t y   ri s k   e s t i m a t i o n   b y   A I - a s s i s t e d   s i m u l a t i o n   f ra m e w o rk   w i t h   g e n e t i c   a l g o r i t h m   t o   o p t i m i z e   t h e   i n i t i a l   p a ra m e t e r s   f o r   a i   m o d e l s ,   M a t e r i a l s ,   v o l .   1 4 ,   n o .   1 7 ,   p .   4 8 3 5 ,   A u g .   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / m a 1 4 1 7 4 8 3 5 .   [3 6 ]   W .   Ch e n ,   N .   Ca i ,   Z .   W u ,   H .   W a n g ,   a n d   J .   M a ,   IC  S o l d e r   J o i n t s   I n s p e c t i o n   v i a   a n   O p t i m i z e d   S t a t i s t i c a l   M o d e l i n g   M e t h o d ,   I E E E   T r a n s a c t i o n s   o n   Co m p o n e n t s ,   P a c k a g i n g   a n d   M a n u f a c t u r i n g   T e c h n o l o g y ,   v o l .   1 2 ,   n o .   2 ,   p p .   3 4 1 3 4 8 ,   F e b .   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / T CP M T . 2 0 2 1 . 3 1 3 6 7 2 0 .   [3 7 ]   S .   L i a o ,   C.   H u a n g ,   Y .   L i a n g ,   H .   Z h a n g ,   a n d   S .   L i u ,   S o l d e J o i n t   D e fe c t   I n s p e c t i o n   M e t h o d   Ba s e d   o n   C o n v N e X t - Y O L O X ,   IE E E   T r a n s a c t i o n s   o n   Co m p o n e n t s ,   P a c k a g i n g   a n d   M a n u f a c t u r i n g   T e c h n o l o g y ,   v o l .   1 2 ,   n o .   1 1 ,   p p .   1 8 9 0 1 8 9 8 ,   N o v .   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / T CP M T . 2 0 2 2 . 3 2 2 4 9 9 7 .   [3 8 ]   K .   W .   T a i ,   J .   H .   Ch u a h ,   H .   L e o n g ,   a n d   N .   H .   K a m a ru d i n ,   A   P CB   S o l d e ri n g   J o i n t   D e fe c t   R e c o g n i t i o n   S y s t e m   U s i n g   Co n v o l u t i o n a l   N e u ra l   N e t w o rk ,   i n   2 0 2 1   In n o v a t i o n s   i n   P o w e r   a n d   A d v a n c e d   Co m p u t i n g   T e c h n o l o g i e s   ( i - P A C T ) ,   I E E E ,   N o v .   2 0 2 1 ,   p p .   1 6 .   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / i - P A CT 5 2 8 5 5 . 2 0 2 1 . 9 6 9 6 8 5 7 .   [3 9 ]   Y .   N a m ,   S .   J o o ,   N .   K w a k ,   K .   K i m ,   a n d   D .   N .   K i m ,   P r e c i s e   P a t t e rn   A l i g n m e n t   fo D i e - To - D a t a b a s e   I n s p e c t i o n   Ba s e d   o n   t h e   G e n e ra t i v e   A d v e r s a ri a l   N e t w o rk ,   I E E E   T r a n s a c t i o n s   o n   S e m i c o n d u c t o r   M a n u f a c t u r i n g ,   v o l .   3 5 ,   n o .   3 ,   p p .   5 3 2 5 3 9 ,   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / T S M . 2 0 2 2 . 3 1 7 1 7 8 8 .   [4 0 ]   G .   W e n ,   Z .   G a o ,   Q .   Ca i ,   Y .   W a n g ,   a n d   S .   M e i ,   A   N o v e l   M e t h o d   Ba s e d   o n   D e e p   C o n v o l u t i o n a l   N e u ra l   N e t w o rk s   f o W a fe r   S e m i c o n d u c t o S u r f a c e   D e fe c t   I n s p e c t i o n ,   IE E E   T r a n s a c t i o n s   o n   In s t r u m e n t a t i o n   a n d   M e a s u r e m e n t ,   v o l .   6 9 ,   n o .   1 2 ,   p p .   9 6 6 8 9 6 8 0 ,   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / T IM . 2 0 2 0 . 3 0 0 7 2 9 2 .   [4 1 ]   H .   D o ,   C.   L e e ,   a n d   S .   B.   K i m ,   A   H i e ra r c h i c a l   S p a t i a l - T e s t   A t t e n t i o n   N e t w o rk   fo E x p l a i n a b l e   M u l t i p l e   W a fe r   Bi n   M a p s   Cl a s s i fi c a t i o n ,   IE E E   T r a n s a c t i o n s   o n   S e m i c o n d u c t o r   M a n u f a c t u r i n g ,   v o l .   3 5 ,   n o .   1 ,   p p .   7 8 8 6 ,   F e b .   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / T S M . 2 0 2 1 . 3 1 2 1 0 0 6 .   [4 2 ]   D .   J i a n g ,   W .   L i n ,   a n d   N .   Ra g h a v a n ,   A   n o v e l   fra m e w o rk   f o s e m i c o n d u c t o m a n u f a c t u ri n g   fi n a l   t e s t   y i e l d   c l a s s i fi c a t i o n   u s i n g   m a c h i n e   l e a r n i n g   t e c h n i q u e s ,   IE E E   A c c e s s ,   v o l .   8 ,   p p .   1 9 7 8 8 5 1 9 7 8 9 5 ,   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / A CC E S S . 2 0 2 0 . 3 0 3 4 6 8 0 .   [4 3 ]   P .   H .   C h o u ,   K .   N .   Ch i a n g ,   a n d   S .   Y .   L i a n g ,   R e l i a b i l i t y   A s s e s s m e n t   o f   W a fe L e v e l   P a c k a g e   u s i n g   A r t i f i c i a l   N e u ra l   N e t w o rk   Re g r e s s i o n   M o d e l ,   J o u r n a l   o f   M e c h a n i c s ,   v o l .   3 5 ,   n o .   6 ,   p p .   8 2 9 8 3 7 ,   D e c .   2 0 1 9 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 7 / j m e c h . 2 0 1 9 . 2 0 .   [4 4 ]   A .   E v a n g e l i d i s ,   N .   D i m i t ri o u ,   L .   L e o n t a ri s ,   D .   I o a n n i d i s ,   G .   T i n k e r,   a n d   D .   T z o v a ra s ,   A   D e e p   Re g r e s s i o n   F ra m e w o rk   T o w a r d   L a b o ra t o r y   A c c u r a c y   i n   t h e   S h o p   F l o o r   o M i c r o e l e c t r o n i c s ,   IE E E   T r a n s a c t i o n s   o n   In d u s t r i a l   In f o r m a t i c s ,   v o l .   1 9 ,   n o .   3 ,   p p .   2652 2 6 6 1 ,   M a r.   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / T II. 2 0 2 2 . 3 1 8 2 3 4 3 .   [4 5 ]   A .   F .   M .   F a z i l ,   I.   N .   M .   S h a h a ra n e e ,   a n d   J .   M .   J a m i l ,   E v a l u a t i o n   o m a c h i n e   l e a r n i n g   c l a s s i f i e r s   i n   f a u l t y   d i e   p r e d i c t i o n   t o   m a x i m i z e   c o s t   s c ra p p i n g   a v o i d a n c e   a n d   a s s e m b l y   t e s t   c a p a c i t y   s a v i n g s   i n   s e m i c o n d u c t o r   i n t e g ra t e d   c i r c u i t   (IC)   m a n u f a c t u ri n g ,   i n   A I P   Co n f e r e n c e   P r o c e e d i n g s ,   2 0 1 9 ,   p .   0 4 0 0 1 0 .   d o i :   1 0 . 1 0 6 3 / 1 . 5 1 2 1 0 8 9 .   [4 6 ]   C.   P h u a   a n d   L .   B .   T h e n g ,   S e m i c o n d u c t o r   w a fe s u r f a c e :   A u t o m a t i c   d e fe c t   c l a s s i f i c a t i o n   w i t h   d e e p   CN N ,   i n   IE E E   R e g i o n   1 0   A n n u a l   In t e r n a t i o n a l   Co n f e r e n c e ,   P r o c e e d i n g s / T E NCO N ,   I E E E ,   N o v .   2 0 2 0 ,   p p .   7 1 4 7 1 9 .   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / T E N CO N 5 0 7 9 3 . 2 0 2 0 . 9 2 9 3 7 1 5 .   [4 7 ]   M .   N .   A y u n i ,   M .   F .   L i n ,   a n d   L .   Q .   Z h e ,   D e e p   L e a rn i n g - Ba s e d   C l a s s i f i c a t i o n   A p p r o a c h   fo W i r e   B o n d i n g   D e f e c t s   I n s p e c t i o n ,   i n   8 t h   In t e r n a t i o n a l   Co n f e r e n c e   o n   S o f t w a r e   E n g i n e e r i n g   a n d   Co m p u t e r   S y s t e m s ,   ICS E CS   2 0 2 3 ,   IE E E ,   A u g .   2 0 2 3 ,   p p .   2 8 6 2 9 0 .   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / ICS E C S 5 8 4 5 7 . 2 0 2 3 . 1 0 2 5 6 3 3 6.   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2 5 0 2 - 4 7 52       A s s e s s m e nt   of   d e t e c t i on   m e t hods   f or   bac k - e nd   pr oc e s s   de f e c t s   i n   e qu i pm e nt   and   …  ( A m e e r   F ar han   R os l an )   501   [4 8 ]   K .   M .   Y o u ,   U .   U .   S h e i k h ,   a n d   N .   E .   B .   A l i a s ,   D i e - L e v e l   D e fe c t s   Cl a s s i fi c a t i o n   u s i n g   R e g i o n - b a s e d   Co n v o l u t i o n a l   N e u ra l   N e t w o rk ,   i n   IE E E   In t e r n a t i o n a l   Co n f e r e n c e   o n   S e m i c o n d u c t o r   E l e c t r o n i c s ,   P r o c e e d i n g s ,   ICS E ,   IE E E ,   A u g .   2 0 2 2 ,   p p .   1 4 4 1 4 7 .   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / ICS E 5 6 0 0 4 . 2 0 2 2 . 9 8 6 3 1 3 5 .   [4 9 ]   C.   P h u a   a n d   L .   B.   T h e n g ,   D L A D C:   D e e p   L e a r n i n g   Ba s e d   S e m i c o n d u c t o r   W a fe S u r f a c e   D e fe c t s   R e c o g n i t i o n ,   IA E NG   In t e r n a t i o n a l   J o u r n a l   o f   Co m p u t e r   S c i e n c e ,   v o l .   4 9 ,   n o .   1 ,   p p .   1 9 1 1 9 9 ,   2 0 2 2 .       A P P EN D I X     T a b l e   1 .   T h e   de t e c t i o m e t h o ds   us e a n d   pe r f o r m a n c e   i t h e   b a c k - e n m a n uf a c t u ri n g   p r o c e s s e s   A rt i c l e   #   A u t h o r s   T y p e   o i n s p e c t i o n   D e t e c t i o n   m e t h o d s   u s e d   P e r fo r m a n c e   [1 9 ]   D u   e t   a l .   CN N   p e r fo r m e d   t o   p r e d i c t   t h e   E T o f   s i n t e r e d   A g .   CN N   T h e   R M A E   a n d   R w e r e   3 . 1 2 %   a n d   0 . 9 8 7 ,   r e -   s p e c t i v e l y ,   a n d   t h e   RP E   w a s   w i t h i n   1 0 %   f o r   n e a rl y   9 1 %   o m o d e l   p r e d i c t e d   r e s u l t s   w i t h   re l a t i v e   e rro r:   5 %   [2 0 ]   Ch e n   a n d   T s a i   Im a g e   c a p t u ri n g   fo d i e   a t t a c h ,   w i r e   b o n d m o l d i n g ,   c u ri n g ,   p u n c h i n g ,   s o r t i n g ,   t a p i n g   a n d   p a c k i n g   CN N   +   C A M ,   Y O L O v 3 ,   Y O L O v 3 - d e n s e   M o d e l   c l a s s     CN N +   CA M   Y O L O v 3   Y O L O v 3 -   d e n s e   D e fe c t - f r e e   1 0 0 . 0 0 %   9 0 . 9 1 %   1 0 0 . 0 0 %   M i s s i n g   c o m p o n e n t   3 . 4 5 %   1 0 0 . 0 0 %   1 0 0 . 0 0 %   In c o rr e c t   p l a c e m e n t   6 6 . 0 9 %   1 0 0 . 0 0 %   9 0 . 9 1 %   In v e r s e   p o l a ri t y   1 0 0 . 0 0 %   7 2 . 7 3 %   1 0 0 . 0 0 %   M i s s i n g   w i r e   1 0 0 . 0 0 %   8 1 . 8 2 %   1 0 0 . 0 0 %   D e fe c t i v e   s u r f a c e   0 . 0 0 %   3 6 . 3 6 %   8 0 . 8 2 %   m A P   6 1 . 5 9 %   8 0 . 3 0 %   9 5 . 2 8 %     [2 1 ]   H a m d a n i   e t   a l .   CS P   r e l i a b i l i t y   f o r   s o l d e r   j o i n t ,   c ra c k   o n   p a c k a g e   ( d i e   a t t a c h / D A )   M CS   T h e   m e t a m o d e l   v a l i d a t i o n   fo a   K ri g i n g   m e t a m o d e l s   b u i l t   b a s e d   o n   1 8 0   s a m p l e s   a re   R M S E C V   =   3 . 3 ,   M A E C V   =   2 . 4 2   a n d   R 2   =   0 . 9   fo b a l l / s u b s t ra t e   s o l d e j o i n t ,   a n d   R M S E C V   =   1 . 7 9 ,   M A E C V   1 . 3 0   a n d   R 2   =   0 . 8 9   fo b a l l / t e s t   b o a r d   s o l d e j o i n t   [2 2 ]   Ch a n   e t   a l .   Ba l l   b o n d i n g   i n s p e c t i o n   S V M ,   L R ,   CN N - F CN - 4 0 0 0 ,   CN N - H o u g h - 4000   E x p e ri m e n t a l   r e s u l t s   s h o w e d   t h a t   1 5   s a m p l e s   a m o n g   a l l   t h e   1 0 0   t e s t   s a m p l e s   w e r e   b e l o w   t h e   p r e d e fi n e d   t h re s h o l d .   H e n c e   8 5 %   o d e t e c t i o n s   a re   a u t o m a t i c a l l y   c o n d u c t e d   b y   t h e   p ro p o s e d   f ra m e w o rk   d u e   t o   1 5   u n c e rt a i n   s a m p l e s .     [3 0 ]   D i m i t ri o u   e t   a l .   S c a n n i n g   a n d   i n s p e c t i o n   o f   D A   g l u e   b o n d i n g   RN E T ,   V o x N E T ,   P o i n t N e t   RN e t   o u t p e r fo r m s   V o x N e t   a n d   P o i n t N e t   w i t h   a n   a v e ra g e   c l a s s i f i c a t i o n   a c c u ra c y   o f   9 1 . 8 2 %   c o m p a r e d   t o   8 6 . 4 2 %   a n d   5 8 . 3 3 % ,   re s p e c t i v e l y .     [2 9 ]   Bra n d   e t   a l .   S A M   i m a g e   i n s p e c t i o n   fo r   b o n d i n g   p o r o s i t y .   1D - CN N   P o r o s i t y   v a ri a t i o n   w a s   o b t a i n e d   t h r o u g h   a d j u s t i n g   t h e   s i n t e r   p r e s s u r e   b e t w e e n   5   M P a   a n d   3 0   M P a .   P o ro s i t y   v a ri a t i o n   o b t a i n e d   t h ro u g h   a d j u s t i n g   t h e   s i n t e t i m e   b e t w e e n   5   s   a n d   1 8 0   s .   N o t i c e a b l e   c o n t ra s t   p a t t e rn s   a p p e a b e t w e e n   t h e   a c o u s t i c   m i c ro g ra p h   a n d   t h e   p o r o s i t y   m a p .   [2 3 ]   W a t a n a b e t   a l .   S A M   f o r   d e fe c t s   (f u s e d ,   d a m a g e d ,   l i f t ,   n o   c h a n g e a t   A O I   CN N   A c c u ra c y   9 7 . 1 4 %     [3 4 ]   Y u a n   a n d   L e e   S o l d e j o i n t   d e t e c t i o n   /   re l i a b i l i t y   S e q u e n - t i a l   N N ,   RN N ,   L S T M   A v g   e rro r   n o r m s   (2 7   d a t a   p a i r s )   RN N   1 . 4 3 2 x 1 0 - 4   L S T M   1 . 3 5 7 x 1 0 - 4   A v g   e rro r   n o r m s   (5 4   d a t a   p a i r s )   RN N   1 . 2 1 3 x 1 0 - 4   L S T M   1 . 1 9 0 x 1 0 - 4     [3 5 ]   Y u a n   e t   a l .   S o l d e j o i n t   re l i a b i l i t y   A N N ,   RN N   A l l   t h e   A m o d e l   l e a r n i n g   r e s u l t s   s a t i s fy   t h e   a c c u ra c y   r e q u i re m e n t   o f   0 . 1 8 %   w h e n   t h e   P C A   g e n e   i s   a p p l i e d   a s   t h e   i n i t i a l   p a ra m e t e r.     [4 3 ]   Ch o u   e t   a l .   W L P   r e l i a b i l i t y ,   s o l d e r   b a l l   re l i a b i l i t y .   F E M ,   A N N   -   [2 4 ]   D a i   e t   a l .   S o l d e d e fe c t   d e t e c t i o n   i n   A O I   Y O L O   P CB  l a y o u t   p o r t i n g   o < 0 . 3 4   s   p e P CB   i m a g e   (1 1 0   s o l d e r   j o i n t s )   [2 5 ]   Ca l i s k a n   a n d   G u rk a n   S o l d e j o i n t   d e fe c t   d e t e c t i o n   i n   A O I   Y O L O v 4   D e t e c t i o n   o s o l d e d e f e c t s   o f   S M T   c i r c u i t   e l e m e n t s   i n   a p p r o x i m a t e l y   5 K   (4 0 5 6 x 3 0 4 0 i m a g e s   r e s o l u t i o n   c a n   b e   a c h i e v e d   w i t h   9 7 %   a c c u ra c y   i n   a ro u n d   4   s e c o n d s .   [3 6 ]   Ch e n   e t   a l .   S o l d e j o i n t   i n s p e c t i o n   V i Be ,   + E l a s t i c n e t   M e t h o d s   T ra i n i n g   S a m p l e s   E rro r   Ra t e   (% )   O m i s s i o n   Ra t e   (% )   A c c u ra c y   (% )   V i Be - Ba s e d   4 0 0 (Q )   1 . 6 6   6 9 . 9 3 %   9 3 . 3 3   E l a s t i c   n e t   4 0 0 (Q )+ 4 0 (U )   0 . 0 0   1 . 5 0 %   9 9 . 9 1     [3 7 ]   L i a o   e t   a l .   S o l d e j o i n t   i n s p e c t i o n   Co n v N e X t - Y O L O X   Co n v N e X t - Y O L O X   h a d   t h e   h i g h e s t   m A P   o 9 7 . 2 1 % ,   w h i c h   w a s   0 . 8 2 %   a n d   3 . 0 2 %   h i g h e t h a n   t h a t   o f   Y O L O X   a n d   Y O L O X - s   [3 8 ]   T a i   e t   a l .   S o l d e j o i n t   d e fe c t   re c o g n i t i o n   Y O L O v 2   &   Re s N e t - 50   D e fe c t   A c c u ra c y   ( % )   G o o d   s o l d e r   8 8 . 5 6   Bri d g e   s o l d e r   9 0 . 4 7   M i s s i n g   s o l d e r   8 7 . 8 6     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2 5 0 2 - 4 7 52   In do n e s i a n   J   E l e c   E ng   &   Co m S c i V o l .   41 ,   N o .   2 F e b r ua r y   20 2 6 :   4 94 - 503   502   T a b l e   1 .   T h e   de t e c t i o m e t h o ds   us e a n d   pe r f o r m a n c e   i t h e   b a c k - e n m a n uf a c t u ri n g   p r o c e s s e s   (Co n t i n ue d)   A rt i c l e   #   A u t h o r s   T y p e   o i n s p e c t i o n   D e t e c t i o n   m e t h o d s   u s e d   P e r fo r m a n c e   [4 4 ]   Ev a n g e l i d i s   e t   a l .   D i e   a t t a c h   g l u e   v o l u m e   re g re s s i o n / d i s p e n s i n g   d e fe c t   i d e n t i f i c a t i o n   R 2 e s N e t   M o d e l   S c a n n i n g   t i m e     In fe r e n c e   t i m e   T o t a l   t i m e   ec - R 2 e s N e t 1 0       5 5 . 4 2   5 5 . 5 9   ec - R 2 e s N e t 1 8     6 3 . 7 2   6 3 . 8 9   ec - R 2 e s N e t 3 4     8 0 . 8 4   8 1 . 1 1   ec - D e n s e N e t     6 0 . 0 7   6 0 . 2 4     [3 2 ]   Bo d i e   e t   a l .   E l e c t ri c a l   c h a ra c t e ri z a t i o n   m e a s u r e m e n t   R a d i o - l o g y   (X / - ra y   s p e c t ro s c o p y )   T h e   d e t e c t o r   a n d   p r e a m p l i f i e w e r e   o p e ra t e d   u n c o o l e d   a t   t e m p e ra t u re s   b e t w e e n   2 0   a n d   1 0 0   C.   T h e   e n e r g y   r e s o l u t i o n   ( f u l l   w i d t h   a t   h a l f   m a x i m u m ,   F W H M o f   t h e   s p e c t ro m e t e r   w a s   f o u n d   t o   b e   1 . 6 6   k e V   ±   0 . 1 5   k e V   a t   5 . 9   k e V   a n d   2 2 . 1 6   k e V ,   a n d   1 . 8 3   k e V   ±   0 . 1 5   k e V   a t   5 9 . 5   k e V   w h e n   o p e ra t e d   a t   2 0   C.   A t   a   t e m p e ra t u re   o 1 0 0   C,   t h e   F W H M   w e r e   2 . 6 9   ±   0 . 2 5   k e V ,   2 . 6 5   k e V ±   0 . 2 5   k e V ,   a n d   3 . 3 0   k e V   ±   0 . 3 0   k e V ,   a t   t h e   s a m e   e n e rg i e s .   [2 7 ]   Ch e n   e t   a l .   D i e   d e fe c t   fo A O I   e q u i p m e n t   G A N ,   Y O L O v 3 ,   F a s t e r   RCN N ,   s h o t   m u l t i b o x   d e t e c t o r   (S S D )   M o d e l   T e s t i n g   A P   ( % )   T e s t i n g   c o o rd i n a t e   p r e d i c t i o n   e rr o r   Y O L O v 3   8 1 . 3 9   1 . 6 4 5 6 x 1 0 - 3   G A N   +   Y O L O v 3   (1 . 5   fo l d   i n c r e a s e )   8 8 . 1 2   2 . 9 6 6 2   x 1 0 - 4   G A N   +   Y O L O v 3   (2   fo l d   i n c r e a s e )   8 8 . 7 2   X 1 . 5 8 5 1   x 1 0 - 4   Cy c l e G A N   +   Y O L O v 3   (1 . 5   fo l d   i n c r e a s e )   3 3 . 1 4   6 . 4 8 8   x 1 0 - 1     [4 5 ]   F a z i l   e t   a l .   D i e   d e fe c t   d e t e c t i o n   A u t o   M L ,   c o n t r o l   g r o u p   Re c a l l   ra t e   o m a x i m u m   4 2 . 6 %   m e a n s   4 2 . 6 %   o b a d   d i e   a b l e   t o   b e   p r e d i c t e d   c o rr e c t l y   w i t h   9 0 %   a c c u ra c y .     [3 1 ]   Ro s m a n   e t   a l .   T h e r m a l   j o i n t   d e t e c t i o n   S A M   S A M   a c h i e v e d   2 5 . 8 %   p o s i t i v e - c l a s s i fi c a t i o n   (b e t t e r)  t h a n   X - Ra y .   S A M   a c h i e v e d   9 0 . 3 %   i s   s u c c e s s   ra t e   i n   c o m p a ri s o n   t o   s c a n n i n g - e l e c t r o n - m i c r o s c o p y   ( S E M ).     [4 6 ]   P h u a   a n d   T h e n g   D e fe c t   d e t e c t i o n   fo s u r f a c e   t re a t m e n t   /   p l a t i n g   p ro c e s s   Re s N e t   1 0 1   &   D L A D S E M ,   CN N   M o d e l   D a t a s e t   T o p - A c c u ra c y   (% )   T o p - A c c u ra c y   (% )   Re s N e t 1 0 1   V a l i d a t i o n   9 0 . 7   9 9 . 0   t e s t i n g   9 1 . 5   9 8 . 5   D L A D C   V a l i d a t i o n   8 9 . 7   9 6 . 1   t e s t i n g   9 1 . 1   9 6 . 2     [4 7 ]   A y u n i   e t   a l .   W i r e   b o n d   d e fe c t .   d e t e c t i o n   D e n s e N e t 1 2 1 ,   V G G 1 9 ,   Re s N e t 5 0 ,   M o b i l e N e t v 2 ,   E ffi c i e n t N e t B 0   v 1   &   v 2   M o d e l   A c c u ra c y   ( %   D e n s e N e t 1 2 1   9 8 . 0   V G G 1 9   9 7 . 0   Re s N e t 5 0     9 8 . 0   M o b i l e N e t   v 2   9 6 . 0   E ffi c i e n t N e t B0   V 1   9 6 . 0   E ffi c i e n t N e t B0   V 2   9 8 . 0     [2 8 ]   H a d d a d   e t   a l .   D e fe c t   d e t e c t i o n   fo A O I   RCN N ,   b a c k g ro u n d   s u b t ra c t i o n   H a d d a d   e t   a l . p r o p o s e d   m e t h o d   w a s   a b l e   t o   a c h i e v e   a   9 8 . 2 %   p r e c i s i o n   a n d   a   9 9 . 4 4 %   r e c a l l   v a l u e s .   [4 2 ]   J i a n g   e t   a l .   Y i e l d   c l a s s i f i c a t i o n   fo f i n a l   t e s t   G a u s s i a n   m i x t u r e   m o d e l s ,   o n e   h o t   e n c o d e r ,   l a b e l   e n c o d e r,   F1 - m a c r o   t e s t   F1 - m a c r o   s c o r e s   In p u t   P r e - p ro c e s s i n g   7 - m o d e l s   a v e ra g e   T o p   3   a v e ra g e   N o   c a t .   i n p u t   0 . 7 0 0   0 . 7 6 1   L a b e l   e n c .   0 . 7 1 0   0 . 7 8 8   O n e   h o t   e n c .   0 . 7 3 6   0 . 7 8 8     [4 8 ]   Y o u   e t   a l .   D i e   d e fe c t   c l a s s i f i c a t i o n   Re g i o n - b a s e d   CN N   (RCN N )   D e t e c t i o n   H a n d c ra f t e d   fe a t u r e s   P ro p o s e d   (RCN N )   A v g   a c c u ra c y   9 4 . 0   %   8 8 . 5   %     [4 0 ]   W e n   e t   a l .   D e fe c t   D e t e c t i o n   fo s u r f a c e   t re a t m e n t   CN N   M e t h o d   W e n   e t   a l .   F CN   D e e p L a b v 3   F l o p s   4 . 0 4 1 x 1 0 10   1 . 4 1 9 x 1 0 9   2 . 0 8 9 x 1 0 9   Ra t e   2 . 4 f p s   5 f p s   4 f p s     [4 1 ]   D o   e t   a l .   M u l t i p l e   W a fe r   Bi n   Cl a s s i f i c a t i o n   CN N     H i S T A   N e t w o r k   -   [4 9 ]   P h u a   e t   a l .   D e fe c t   D e t e c t i o n   fo s u r f a c e   t re a t m e n t   CN N   -   D L A D C   CN N - b a s e d   M o d e l   A c c u ra c y   ( % )   D L A D C   9 3 . 6 9   S S D   w i t h   V G G 1 6   9 4 . 1 7   S S D   w i t h   R e s N e t 5 0   9 1 . 5 2     [3 9 ]   N a m   e t   a l .   D i e   D e fe c t   De t e c t i o n   G e n e ra t i v e   A d v e r s a ri a l   N e t w o rk   (G A N )   S u b s e t   #   S E M /   CA D   #   T ra i n i n g   D a t a   A c c u ra c y   [ % (ra n d o m )   A c c u ra c y   [ % (c l u s t e r)   1   1344   7   8 5 . 8 3   9 7 . 5 8   2   5910   14   8 9 . 0 6   9 6 . 5 4         Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2 5 0 2 - 4 7 52       A s s e s s m e nt   of   d e t e c t i on   m e t hods   f or   bac k - e nd   pr oc e s s   de f e c t s   i n   e qu i pm e nt   and   …  ( A m e e r   F ar han   R os l an )   503   B I O G R A P H I ES   O F   A U T H O R S       A m e e r   F a r h an   R o s l an           i s   a   g r a d ua t e   r e s e a r c a s s i s t a nt   f o r   F T K E K ,   U T e M .   H e   c om pl e t e h i s   D i p l o m a ,   B a c he l o r   o f   E ng i ne e r i ng   ( T e l e c o m m uni c a t i o E l e c t r o ni c s )   a nd  M a s t e r   o f   S c i e nc e   ( E l e c t r o ni c   E ng i n e e r i ng )   f r o m   U T e M ,   M a l a y s i a ,   be f o r e   m o v i ng   i nt o   t he   s e m i c o nduc t o r   m a nuf a c t u r i ng   i ndu s t r y   w i t h   i nf i n e o t e c hno l o g i e s   a s   m e t r o l o g y     e qui pm e n t   e ng i ne e r .   H i s   r e s e a r c a r e a s   a r e   i s e m i c o nduc t o r   de v i c e   a nd  e qu i pm e n t ,   a n i m a g e   pr o c e s s i ng   w i t h   de e l e a r n i ng   a p pr o a c h.   H e   c a b e   c o nt a c t e a t   e m a i l :   p1223 1000 1@s t ud e n t . ut e m . e du. m y .         M as r u l l i z a m   M at   I b r ah i m           i s   a a s s o c i a t e   p r o f e s s o r ,   c ur r e n t l y   w o r ki ng   a s   a   s e n i o r   l e c t u r e r   i n   C o m put e r   E ng i n e e r i ng   D e pa r t m e nt ,   F T K E K ,   U T e M .   H e   c o m pl e t e d   hi s   s t udy   i n   B a c he l o r   o f   E ng i n e e r i ng   ( E l e c t r i c a l   E ng i ne e r i ng   -   E l e c t r o ni c s )   a nd   M a s t e r   o f   E ng i n e e r i ng  ( E l e c t r i c a l - E l e c t r o ni c s   &   T e l e c o m m uni c a t i o ns )   f r o m   U T M ,   M a l a y s i a   a nd   l a t e r   f i n i s h e hi s   P hD   i n   E l e c t r o ni c s   E ng i ne e r i ng   f r o m   U n i v e r s i t y   o f   S t r a t hc l y de ,   U K .   H i s   r e s e a r c h   a r e a s   a r e   i n   di g i t a l   s y s t e m ,   V H D L   de s i g a nd   e l e c t r o ni c s .   H e   c a n   be   c o nt a c t e d   a t   e m a i l :   m a s r u l l i z a m @u t e m . e d u. m y .         N i k   M o h d   Z a r i f i e   H as h i m           r e c e i v e d   bo t h   f i r s t   a nd   m a s t e r s   d e g r e e   f r o m   F uk ui   U ni v e r s i t y   J a pa n ,   i E l e c t r i c a l - E l e c t r o ni c   E ng i ne e r i ng - 2006  a nd   2008 .   H e   j o i n e d   U T e M   i 2008  a nd  c o m pl e t e hi s   P hD   i n   c o m put e r   v i s i o a n m a c hi ne   l e a r n i ng   f r o m   U ni v e r s i t y   of   N a g oy a   i n   20 22.   H i s   r e s e a r c h   i nt e r e s t   o n   i m a g e   p r o c e s s i ng   w i t de e p   l e a r n i ng   a ppr o a c h.   H e   c a be   c o nt a c t e d   a t   e m a i l :   ni kz a r i f i e @u t e m . e d u. m y .         I r .   T s .   M o h d   S y ah r i n   A m r i           i s   a   di s t i ng ui s he S e ni o r   L e c t ur e r   a t   U n i v e r s i t i   T e kn i ka l   M a l a y s i a   M e l a ka   ( U T e M ) .   W i t h   o v e r   27   y e a r s   o f   e xpe r i e nc e   i n   t he   f i e l d   o f   e l e c t r o ni c s   e ng i n e e r i ng   a n d   s e m i c o nduc t o r   t e c hno l o gy ,   he   ha s   s i g ni f i c a nt l y   c o nt r i b ut e d   t o   bo t a c a de m i a   a nd   i ndu s t r y . H e   pu r s ue d   h i s   B a c he l o r ' s   D e g r e e   i n   E l e c t r i c a l   E ng i ne e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t i   T e k no l o g i   M a l a y s i a   i 1997 .   H e   l a t e r   a dv a nc e h i s   e du c a t i o by   e a r n i ng   a   M a s t e r   o f   S c i e nc e   i n   S e m i c o nduc t o r   P ho t o ni c s   a nd   E l e c t r o ni c s   f r o m   T h e   U ni v e r s i t y   o f   S he f f i e l d ,   U K ,   i n   201 5. H i s   r o l e   i nv o l v e s   t e a c hi ng   a nd   l e a r ni ng ,   m e nt o r i ng   f u t ur e   e ng i ne e r s ,   c o nduc t i ng  r e s e a r c h,   a nd   de v e l o pi ng   i n dus t r y - r e l e v a nt   c ur r i c ul a .   H e   i s   a l s o   a a c t i v e   pa r t i c i pa n t   i n   v a r i o us   t e c hni c a l   p a ne l s   w i t h   t he   M a l a y s i a   B o a r d   o f   T e c hno l og i s t s   ( M B O T ) ,   c o nt r i b ut i ng   t o   t he   e v a l ua t i o n   a nd   a c c r e di t a t i o o f   e ng i ne e r i ng   pr o g r a m s   i v o c a t i o na l   a n c o m m uni t y   c o l l e g e s   a c r o s s   M a l a y s i a .   H e   c a be   c o nt a c t e a t   e m a i l :   s y a hr i n@u t e m . e d u. m y .         T o l e   S u t i k n o           i s   a   pr o f e s s o r   i n   E l e c t r i c a l   E ng i n e e r i ng   D e pa r t m e nt   a t   t h e   U ni v e r s i t a s   A hm a D a h l a ( U A D ) ,   Y o gy a ka r t a ,   I ndo ne s i a .   H e   r e c e i v e hi s   B . E ng . ,   M . E ng . ,   a nd  P h . D .   de g r e e s   i n   E l e c t r i c a l   E ng i ne e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t a s   D i po ne g o r o ,   U ni v e r s i t a s   G a dj a M a d a   a nd   U n i v e r s i t i   T e kno l o g i   M a l a y s i a ,   i 1999 ,   200 4,   a nd  2016 ,   r e s pe c t i v e l y .   H e   ha s   b e e n   a   P r o f e s s o r   i U A D ,   Y o gy a ka r t a ,   I ndo ne s i a   s i nc e   20 23 .   H e   i s   a m o ng   t he   t o 2%   o f   r e s e a r c he r s   na m e d   by   S t a nf o r d   U ni v e r s i t y   a nd   E l s e v i e r   B V   a s   t he   m o s t   i nf l ue nt i a l   s c i e n t i s t s   i n   t he   w o r l d   f o r   2021 p r e s e nt .   H e   i s   c ur r e n t l y   a E d i t o r - in - C h i e f   o f   t he   T E L K O M N I K A   a nd  t he   H e a d   o f   t he   E m be d de d   S y s t e m s   a nd   P o w e r   E l e c t r o ni c s   R e s e a r c G r o up   ( E S P E R G ) .   H i s   r e s e a r c i nt e r e s t s   i nc l ud e   t he   f i e l d   o f   d i g i t a l   de s i g n,   i ndu s t r i a l   a pp l i c a t i o ns ,   i n dus t r i a l   e l e c t r o ni c s ,   i ndu s t r i a l   i nf o r m a t i c s ,   po w e r   e l e c t r o ni c s ,   m o t o r   d r i v e s ,   r e ne w a bl e   e ne r g y ,   F P G A   a pp l i c a t i o ns ,   e m be dd e d   s y s t e m ,   a r t i f i c i a l   i n t e l l i g e nc e ,   i n t e l l i g e nt   c o nt r o l ,   i nf o r m a t i o n   t e c hno l o gy ,   a nd  di g i t a l   l i b r a r y .   H e   c a n   be   c o nt a c t e d   a t   e m a i l :   t o l e @t e . u a d . a c . i d.     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.