I nte rna t io na l J o urna l o f   I nfo rm a t ics a nd   Co m m un ica t io n T ec hn o lo g y   ( I J - I CT )   Vo l.  15 ,   No .   3 Sep tem b er   20 26 ,   p p .   1 1 4 3 ~ 1 1 5 3   I SS N:  2252 - 8 7 7 6 DOI 1 0 . 1 1 5 9 1 /iji ct . v15 i 3 . pp 1 1 4 3 - 1 1 5 3          1143       J o ur na l ho m ep a g e h ttp : //ij ict. ia esco r e. co m   Adv a nced ma teri a ls for cros sta lk a nd po wer op timiz a tion in    TSV - ena bled   3 ICs       T a pp et a   Chin na   Sa nje ev a   Ra y ud u,  M er rin P ra s a nn a   Na g a da s a ri   D e p a r t me n t   o f   El e c t r o n i c s a n d   C o mm u n i c a t i o n   En g i n e e r i n g A n n a ma c h a r y a   U n i v e r si t y ,   R a j a m p e t ,   I n d i a       Art icle  I nfo     AB S T RAC T   A r ticle  his to r y:   R ec eiv ed   J u l 2 ,   2 0 2 5   R ev is ed   Ap r   1 0 ,   2 0 2 6   Acc ep ted   Ma y   1 7 ,   2 0 2 6       Th e   c o n ti n u e d   sc a li n g   o se m ico n d u c t o d e v ice h a e x p o se d   t h e   li m it a ti o n s   o trad it i o n a tw o - d ime n si o n a (2 D)  in teg ra ted   c irc u it   a rc h it e c tu re s.  To   a d d re ss   p e rfo rm a n c e   b o t tl e n e c k s a n d   in terc o n n e c c o n stra in ts,   th e   i n d u str y   is   in c re a sin g ly   a d o p ti n g   t h re e - di m e n sio n a (3 D)  i n teg ra ti o n   te c h n o l o g ies .   th ro u g h - sili c o n   v ias   ( TS Vs a re   a   fu n d a m e n tal   e n a b ler   o f   th is  a d v a n c e m e n t,   fa c il it a ti n g   v e rti c a sig n a tran s m issio n   b e twe e n   sta c k e d   si li c o n   lay e rs.   De sp it e   th e ir  b e n e fit s,  T S Vs   fa c e   c rit ica c h a ll e n g e re late d   to   c ro ss talk ,   p o we d issi p a ti o n ,   a n d   sig n a d e l a y   issu e th a a re   e sp e c ially   p r o n o u n c e d   i n   d e n se   v ia  a rra y s.  Th is  re se a rc h   e x p lo re th e   u se   o m u lt i - wa ll e d   c a rb o n   n a n o t u b e   (M WCNT)   b a se d   TS V in su late d   wi th   d iffere n d iele c tri c   li n e rs ,   in c lu d in g   sili c o n   d i o x i d e   (S iO₂ ) ,   P P C,   p o ly imid e ,   a n d   b e n z o c y c lo b u ten e   (BCB).   HSP ICE  sim u lati o n a re   u se d   to   e v a l u a te  c ro ss talk   n o is e ,   p o we r   d issip a ti o n ,   p o we d e lay   p r o d u c (P DP),   a n d   e n e rg y   d e lay   p r o d u c (EDP )   a c ro ss   v a ry in g   T S p it c h e s.   Am o n g   th e   m a teria ls  stu d i e d ,   BCB   d e m o n str a tes   t h e   m o st   p r o m isin g   re su lt s.   S p e c ifi c a ll y ,   M WCNT   T S Vs   with   BCB  a a   1 0 , 0 0 0   μm   p i tch   a c h iev e   u p   t o   5 8 %   re d u c ti o n   in   fu n c ti o n a l   c ro ss talk ,   7 5 %   in   d y n a m ic  c ro ss talk ,   7 8 %   in   p o we d issip a ti o n ,   a n d   a   5 2 %   imp ro v e m e n i n   P DP  c o m p a re d   to   sin g le - wa ll e d   CNT  (S WC N T)  b a se d   TS Vs .   Th e se   fin d in g c o n fi rm   th e   su it a b il it y   o c o m b in in g   M WC NT  c o re with   l o w - k   BCB  li n e rs  fo r   e n h a n c in g   p e rf o rm a n c e ,   e n e rg y   e ffici e n c y ,   a n d   sig n a re li a b il it y   in   a d v a n c e d   3 D i n teg ra ted   c ircu i ts.   K ey w o r d s :   B en zo cy clo b u ten e   C r o s s talk   n o is e   Mu lti - w alled   ca r b o n   n an o t u b e s   Sil ico n   d io x id e   T h r ee - d im e n s io n al  I C     T h r o u g h   s ilico n   v ias   T h is i a n   o p e n   a c c e ss   a rticle   u n d e r th e   CC B Y - SA   li c e n se .     C o r r e s p o nd ing   A uth o r :   T ap p eta  C h in n San jeev a   R ay u d u   Dep ar tm en t o f   E lectr o n ics an d   C o m m u n icatio n   E n g in ee r i n g ,   An n am ac h ar y Un iv e r s ity   R ajam p et,   An n am ay y Dis tr ic t,  An d h r Pra d esh ,   Pin - 5 1 6 2 1 6 I n d ia   E m ail: ta p p etasan jeev @ g m ail. co m ,   n a g ad asar i.m er r i n @ g m ail. co m .       1.   I NT RO D UCT I O N   T r ad itio n al  two - d im en s io n al  ( 2 D)   in teg r ated   cir cu its   ( I C s )   ar b ec o m in g   m o r d if f ic u lt  as  th e   s em ico n d u cto r   in d u s tr y   m o v es  to war d   u ltra - lar g e - s ca le  i n teg r atio n   ( UL SI) .   Du to   p ar asit ic  ef f ec ts   an d   r o u tin g   co n s tr ain ts ,   M o o r e' s   L aw' s   u n r elen tin g   tr an s is to r   g r o wth   h as  h am p er ed   in ter co n n ec p e r f o r m an ce ,   p o wer   ef f icien c y ,   an d   s ig n al   in teg r ity   [ 1 ] ,   [ 2 ] .   T h r ee - d i m en s io n al  in teg r ated   cir cu it s   ( 3 I C s )   v er tically   in teg r ate  m an y   s ilico n   lay er s   to   m in im is co n n ec tio n   len g t h ,   laten cy ,   b an d wid t h ,   an d   en er g y   ef f icien cy   [ 3 ] ,   [ 4 ] .   T h r ee I C s   d ep en d   o n   th th r o u g h - s ilico n   v ia  ( T SV) ,   wh ich   allo ws  d ir ec v er tical  el ec tr ical  co n n ec tio n s   b etwe en   s tack ed   d ies.  T SVs   h av a   co n d u ctiv e   co r e,   d iele ctr ic  in s u latin g   lin i n g ,   an d   s ilico n   s u b s tr ate  [ 5 ] .   C o p p er   is   th tr ad itio n al  T SV  co r m ater ial  b ec au s t o   its   elec tr ical  an d   th er m al   co n d u ctiv ity ,   b u elec tr o m ig r atio n ,   tem p e r atu r e - in d u ce d   ex tr u s io n ,   s ig n al   lo s s   f r o m   th s k in   ef f ec t,   an d   m ec h an ical  b r ea k d o wn   u n d er   s tr ess   ar im p o r t a n r eliab ilit y   d if f icu lties   [ 6 ] ,   [ 7 ] .   C ar b o n - b ased   n a n o m ater ials   li k s in g le - walled   C NT s   ( SW C NT s )   an d   m u lt i - walled   ca r b o n   n an o tu b e s   ( MWC NT s )   ar b ein g   i n v es tig ated   as  co p p er   alter n ativ es  to   a d d r ess   th ese  c o n s tr ain ts   [ 8 ] - [ 1 0 ] .   T h c r o s s - s e c ti o n a l   s t r u c t u r e   o f   a   S W C NT   a r r a y   p l a c e d   i n   a   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 2 5 2 - 8 7 7 6   I n t J I n f   &   C o m m u n   T ec h n o l ,   Vo l.  15 ,   No .   3 Sep tem b er   20 26 1 1 4 3 - 1 1 5 3   1144   d i e l e c t r i c   l a y e r   o v e r   a   s i l i c o n   s u b s t r a t e   is   s h o w n   i n   F i g u r e   1 .   co m p a r ab le   s etu p   u tili s in g   MWC NT   ar r ay   as   s h o wn   in   Fig u r 2   s h o ws  n an o tu b ar ch itectu r al  ch an g es.  T h ese  m ater ials   h av g o o d   elec tr ical,   th er m al,   an d   m ec h an ical  q u alities   th at  im p r o v T SV  r el iab ilit y   an d   p er f o r m an ce   [ 1 1 ] ,   [ 1 2 ] .   T h d ielec tr ic  lin er   ar o u n d   th e   T SV  r ed u ce s   ca p ac itiv co u p lin g   an d   cr o s s talk ,   wh ich   a r e   esp ec ially   tr o u b leso m e   i n   cl o s ely   p ac k ed   T SV  ar r ay s   [ 1 3 ] ,   [ 1 4 ] .   L o w - k   p o ly m er - b ased   d ielec tr ic  m ater ia ls   in clu d in g   p o ly im id e,   p o ly p r o p y len e   ca r b o n ate   ( PP C ) ,   an d   b en zo c y clo b u ten ( B C B )   ar r ep lacin g   co n v en ti o n al  s ilico n   d io x i d ( SiO₂)   o win g   to   th eir   ab ilit to   r ed u ce   p ar asit ic  ca p ac itan ce   an d   en h an ce   s ig n al  in teg r ity   [ 1 5 ] .   MWC NT - b ased   T SVs   w ith   d if f er en d ielec tr ic  lin er s   ar c o m p ar e d   to   SW C NT - b ased   T SVs   in   th is   wo r k .   C r o s s talk   n o is e,   p o wer   d is s ip atio n ,   an d   p o wer   d elay   p r o d u ct  ( PDP )   ar ex am in e d   o v er   T SV  p i tc h   s izes.  HSPICE - b ased   s im u latio n s   s h o th at   MWC NT   T SVs   in s u lated   with   B C B   o u tp er f o r m   SW C NT   s tr u ctu r es  in   all  p er f o r m an ce   p ar am eter s ,   p ar ticu lar ly   at   g r ea ter   p itch   v alu es.  T h e   d ielec tr ic  m ater i als '   p er m itiv ity   an d   c h ar ac ter is tics   ar s h o wn   in   T ab le  1 .   Fig u r es  1   a n d   2   s h o SW C NT   an d   MWC NT   a r r ay s   in   d ielec tr ic - lin ed   T SV s ,   h ig h lig h tin g   th eir   elec tr ical  an d   m ec h an ical  d if f er en ce s .   s in g le  g r ap h en cy lin d er   m ak es  SW C NT s   id ea f o r   h ig h - f r eq u en cy ,   lo w - p o wer   ap p licatio n s   o win g   to   th eir   s tr o n g   elec tr o n   m o b ilit y   an d   h o m o g en eo u s   s h ap e.   MWC NT s   b o o s cu r r en t - ca r r y in g   ca p ac ity   a n d   s tr u ctu r al  d u r a b ilit y   b u t in c r ea s in ter - s h ell  s ca tter in g   an d   r e d u ce   m o b ilit y   [ 1 6 ] .     T a b l e   1   e v a l u at e s   t h e   p h y s i ca l ,   t h e r m a l ,   e l e ct r i c al ,   a n d   m e c h a n i c a l   p r o p e r t ie s   o f   f o u r   d i e l e c t r i m a t e r i a ls :   S i O₂ ,   P o l y i m i d e ,   P PC ,   a n d   B C B .   B C B   h a s   t h e   l o we s t   d i el e c t r ic   c o n s t a n t   ( 2 . 6 5 ) ,   m a k i n g   i t   a p p r o p r i a t f o r   h i g h - f r e q u e n c y   o r   l o w - c a p a c i t a n c e   a p p li c a ti o n s .   I ts   l o w   d e n s it y   a n d   g e n t l t h e r m a p r o p e r t i e s   m a k e   it  e x c e l l e n t   f o r   i m p r o v e d   m i c r o e l e c t r o n i cs   p a c k a g i n g .   F i v e   p r im a r y   p a r t s   m a k e   u p   t h e   p a p e r .   S e c t i o n   1   e x p l a i n s   w h y   t h e   s t u d y   i s   i m p o r t a n t   i n   3 D   I C   t e c h n o l o g y .   S e c ti o n   2   r e v i e w s   p r i o r   w o r k   a n d   c h a l l e n g e s   i n   t h e   l i t e r a t u r e .   S e c t i o n   3   d e s c r i b e s   t h e   MWC N T - b as e d   T S V   c o n s t r u c t i o n   a n d   e l e ct r i c a c i r c u it   i n   c o m p a r i s o n .   Si m u l a ti o n   r e s u l ts   a n d   p e r f o r m a n c e   c o m p a r i s o n s   a r e   i n   s e ct i o n   4 .   S e ct i o n   5   r e v i e w s   a n d   o f f e r s   a d d i t i o n a r e s e a r c h .       T ab le   1 .   T h r elativ p e r m itti v ities   o f   th d ielec tr ic  m ater ials   an d   th eir   p r o p er ties   S.   N o   P r o p e r t y   S i O   P o l y i m i d e   PPC   B C B   1   R e l a t i v e   P e r mea b i l i t y   ( μr )   1   1   1   1   2   R e l a t i v e   P e r mi t t i v i t y   ( εr )   /   D i e l e c t r i c   C o n s t a n t   ( k )   3 . 9   3 . 5   2 . 9   2 . 6 5   3   D e n si t y   ( ρ )   2 2 0 0   k g /   ~ 1 4 2 0   k g /   ~ 1 1 8 0   k g /   ~ 1 0 5 0   k g /   4   Th e r m a l   C o n d u c t i v i t y   ( k )   1 . 4   W / mK   ~ 0 . 1 2 0 . 3 5   W / m K   ~ 0 . 2   W / mK   ~ 0 . 2 9   W / m K   5   S p e c i f i c   H e a t   C a p a c i t y   ( C p )   7 0 3   J / ( k g · K )   ~ 1 0 9 0   J/ ( k g · K )   ~ 1 5 0 0   J/ ( k g · K )   ~ 1 2 5 0   J/ ( k g · K )   6   El e c t r i c a l   C o n d u c t i v i t y   ( σ)   1 0 ¹⁴  t o   1 0 ¹⁶   S / m   ~ 1 0 ¹⁵ S / m   ~ 1 0 ¹⁴ S / m   ~ 1 0 ¹⁵ S / m   7   Y o u n g s M o d u l u s   7 0   G P a   ~ 2 . 5   G P a   ~ 1 . 3   G P a   ~ 2 . 9   G P a   8   P o i ss o n s   R a t i o   0 . 1 7   0 . 3 4   ~ 0 . 3 6   0 . 3 4   9   C o e f f i c i e n t   o f   Th e r mal   E x p a n s i o n   ( C TE)   0 . 5   p p m / ° C   ~ 2 0 5 5   p p m / ° C   ~ 6 0   p p m / ° C   ~ 4 2   p p m / ° C             Fig u r 1 .   C r o s s - s ec tio n al  v iew   o f   SW C NT   ar r ay   with   d ielec tr ic  m ater ial  an d   s ilico n   s u b s tr ate     Fig u r 2 .   C r o s s - s ec tio n al  v iew   o f   MWC NT   ar r ay   with   d ielec tr ic  m ater ial  an d   s ilico n   s u b s tr ate       2.   LIT ERA TUR S UR VEY   C r o s s talk ,   Sig n al  d is to r tio n ,   d elay   f lu ctu atio n s ,   an d   p o wer   i n ef f icien cies  r esu lt  f r o m   ca p a citiv an d   in d u ctiv c o u p lin g   b etwe en   n ea r b y   T SVs .   f lu r r y   o f   r esear ch   o n   m ater ial - lev el  a n d   s tr u ctu r al  o p tim is atio n s   to   r ed u ce   th ese  u n d esira b le  i n ter ac tio n s   h as  f o llo wed .   C ar b o n - b ased   n a n o m ater ials ,   esp ec ially   MWC NT s ,   an d   lo w - k   d ielec tr ic   p o ly m er s   th at  r ep lace   SiO₂   lin er s   ap p ea r   p r o m is in g .   R ajk u m a r   an d   R e d d y   [ 1 1 ]   p r esen ted   h eter o g en e o u s   co a x ial  T SVs   with   C u - MWC NT   co m p o s ite  co r es  an d   p o ly m er   lin e r s ,   wh i ch   r ed u ce d   c r o s s talk   o win g   to   elec tr ical  is o la tio n   an d   im p ed a n ce   m atch in g C h en   et  a l.   [ 1 2 ]   c o n f ir m e d   th at  co n n ec tin g   co p p er   with   MWC NT s   in   h ig h - s p ee d   T SV  d esig n s   ca n   b alan ce   c o n d u ctiv ity ,   r eliab ilit y ,   an d   s ig n al  in te g r ity .   E x p er im en tally ,   f o u n d   th at  MWC NT - b ased   T SVs   w ith   p o ly m er   lin er s   r ed u ce   ca p ac itiv co u p lin g   an d   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n t J I n f   &   C o m m u n   T ec h n o l     I SS N:   2252 - 8 7 7 6       A d va n ce d   ma teri a ls   fo r   cro s s t a lk  a n d   p o w er o p timiz a tio n   in   TS V   … ( Ta p p eta   C h in n a   S a n j ee va   R a yu d u )   1145   im p r o v lin er   co n f o r m an ce ,   s u p p r ess in g   cr o s s talk .   Ku m ar et  a l.   [ 1 3 ]   ex am in ed   p o ly m er   l in er s   in   C NT - b ased   T SVs ,   em p h asis in g   elec tr ical  an d   m ec h an ical  r o b u s tn ess   th r o u g h o u tem p er atu r cy cles   [ 1 4 ] .   Ku m ar   et  a l.   [ 1 4 ]   d ev elo p ed   an   FDTD - b a s ed   m o d ellin g   f r a m ewo r k   f o r   MWC NT   in ter co n n ec ts   th a ca p tu r es  co m p le x   elec tr o m ag n etic   b eh a v io u r s   a n d   p r ed icts   cr o s s talk   ef f ec ts   u n d er   d if f er en t   g eo m etr ies .   T h is   h elp s   v alid ate  d esig n   d ec is io n s   b e f o r e   ac tu al  p r o t o ty p in g . T SV  in n o v atio n s   n o h av a   wid er   ap p licatio n   b ase.     Sre elath et  a l.   [ 1 5 ]   in v esti g a ted   MWC NT   T SVs   in   q u ater n ar y   lo g ic  s y s tem s ,   n ew  lo g ic  d esig n   f r o n tier .   T h eir   r esear c h   s h o we d   th at   MWC NT   b u n d les  m ay   g r ea tl y   m in im is s ig n al   co u p lin g   i n   m u lti - lev el   lo g ic   cir cu its ,   ex p an d in g   th ei r   u s b ey o n d   b in ar y   s y s tem s .   Pal  e a l.  [ 1 6 ]   in tr o d u ce d   s ilico n - c o r co ax ial  T SVs ,   wh ich ,   alb eit  n o ca r b o n - b as ed ,   co n f ir m ed   th r elev a n ce   o f   co a x ial  s y m m etr y   i n   atten u atin g   cr o s s talk   in   tig h tly   p ac k e d   T SV  n etwo r k s .   Ma ju m d er   et  a l.   [ 1 7 ]   e x am in ed   m ix ed   C NT   b u n d l es  an d   f o u n d   th at   h eter o g en e o u s   SW C NT   an d   MWC NT   in teg r atio n   f u r t h er   r ed u ce s   cr o s s talk   late n cy   an d   in ter co n n ec n o is e R am an ath u la  an d   An u r ad h a   [ 1 8 ]   s im u lated   C NT - b ased   T S Vs  an d   f o u n d   r e d u ce d   cr o s s talk   n o is a n d   p o wer   d is s ip atio n .   T h eir   f in d i n g s   d e m o n s tr ate  ca r b o n   n an o p ar ticl es'   en er g y   ef f icien c y   a n d   h ig h - f r eq u en cy   s ig n al   in teg r ity .   Sah u   et  a l .   [ 1 9 ]   a d d r ess ed   m etallic  T SV  ed d y   c u r r en ef f ec ts ,   a   n eg lecte d   to p ic.   T h ei r   c o m p ar is o n   in v esti g atio n   s h o wed   t h at  C NT   b u n d les  lo wer   th ese  cu r r en t s ,   cr o s s talk ,   an d   p o wer   lo s s es,  m ak in g   th em   b etter   f o r   GHz - r an g ap p licatio n s   [ 2 0 ] .   C ar b o n   n an o tech n o lo g y   an d   m o d e r n   p o ly m er   s cien ce   ar ch an g in g   3 I C   T SV  elec tr ical  an d   m ec h an ical  p r o p er ties .   E x p er im e n ts   an d   m o d ellin g   s h o th at  MWC N T - b ased   T SVs   with   lo w - k   p o l y m er   lin er s   m a y   m in im is cr o s s talk ,   im p r o v s i g n al  in teg r ity ,   an d   l o wer   p o wer   co n s u m p tio n   in   n ex t - g en e r atio n   VL SI   s y s tem s .   T h ese  ad v an ce m en ts   will  h el p   cr ea te  r o b u s t,  n o is e - r esil ien 3 I C   d esig n s   as   lo g ic  co m p le x ity   in cr ea s es a n d   f r eq u en cy   d o m ai n s   g r o w   [ 2 1 ] - [ 2 5 ] .       3.   P RO P O SE CO UP L E T S VS A ND  I T E L E CT RICA L   E Q UI VAL E N T   M O D E L   T h is   s ec tio n   p r esen ts   th s tr u ctu r o f   c o u p led   MWC NT   T S Vs  alo n g   with   th eir   cir cu it  m o d el  s h o wn   in   Fig u r 3 .   Mo r eo v er ,   th e   n u m er ical  ex p r ess io n s   f o r   MWC NT   ar also   d is cu s s ed .     =      (       N = = 1   ) . 1   ( 1 )     T h r esis tan ce   R   f o r   th e   p r o p o s ed   co u p led   T SVs   is   d ef in e d   b y   E q u atio n   1 .   I n   th is   d esi g n ,   R   a r is es  d u to   s ca tter in g   ef f ec ts   s u ch   as  T S ed g r o u g h n ess ,   ac o u s tic  p h o n o n s ,   an d   s tatic  im p u r ities .   Her e,   R QT   in d icate s   th q u a n tu m   r esis tan ce ,   N M   s i g n if ies  th to tal  n u m b e r   o f   co n d u ctin g   ch an n els,  N iT   r ep r esen ts   th n u m b er   o f   co n d u ctin g   ch a n n els in   th i - t h   s h ell,   an d   λ iT   is   th m ea n   f r e p ath   o f   elec tr o n s   with in   th at  s h ell.     =  +  (  ) 1   ( 2 )      = 0 0   ( 3 )      =  4 2     ( 4 )     T h in d u ctan ce   L   ar is es  f r o m   th co m b in e d   ef f ec ts   o f   k i n etic  en er g y   (  )   an d   m ag n etic   en er g y   (  ) ,   b o th   ass o ciate d   with   th m o tio n   o f   elec tr o n s   in   d is tin ct  c o n d u ctin g   ch a n n els  ar s h o w n   in   eq u atio n s   2 ,   3,   an d   4 .   T h is   in d u ctan ce   is   d eter m in ed   b y   ass ess in g   th en er g y   c o n tr ib u tio n s   f r o m   th ese  d y n am ic   in ter ac tio n s .   I m p o r tan t   p ar a m eter s   in v o lv e d   in   th is   ass ess m en in clu d th e   Fer m v elo city   ( ) ,   T SV  co n d u ctin g   C h an n el(    ) ,   Plan ck s   co n s tan (  ) ,   f r ee   s p ac p er m ea b ilit y ,   p er m itti v ity   o f   v ac u u m ,   elec tr o n   ch ar g e   ( e ).   T h e   o x id ca p ac ita n ce   is   g e n er ated   b etwe en   th e   v ia   an d   th e   s ilico n   s u b s tr ate,   wh ich   is   r e p r esen ted   b y   th e   C oxide .   T h C o x id e   ca n   b ca lcu lated   in   e q u atio n   5 .   I n   th elec tr ical  e q u iv alen t   m o d el,   C Q   an d   C X   ar e   th q u an t u m   ca p ac itan ce   a n d   p ar allel  p late  ca p ac itan ce ,   a n d   th ese  ca n   b s tated   in   ( 6 )   a n d   ( 7 ).      = 6 . 28 0 (   (   1 2 +   1 2 ) )   ( 5 )     = 4  2 /    ( 6 )     = 2    ( 7 )     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 2 5 2 - 8 7 7 6   I n t J I n f   &   C o m m u n   T ec h n o l ,   Vo l.  15 ,   No .   3 Sep tem b er   20 26 1 1 4 3 - 1 1 5 3   1146   th r elativ p e r m itti v ity   o f   th e   in s u latin g   m ater ial,   p er m itti v ity   o f   v ac u u m ,   a n d   th e   d is tan ce   b etwe en   th e   v ia   (D M )   b u n d le  an d   th g r o u n d   p lan ( D G ) .   T h s ilico n   s u b s tr ate  co n d u ctan ce   ca n   b r e p r esen ted   G Sub   an d   th es e   ca n   b ex p r ess ed   in   th ( 8 )   as :      =      ( (  2  ) 2 1 +  2  )   ( 8 )     wh er Dp T is   th p itch   b etwe e n   th two   Vias,     = 0 . 1 ( .  ) - is   th co n d u ctiv ity   o f   s u b s tr ate,   R TV   is   v ia   r ad iu s .   Fig u r 3   s h o ws  co u p lin g   an aly s is   b etwe en   two   n ea r b y   T SVs   in   a   3 in teg r ated   s y s te m .   T h lef t   R L C   lin r ep r esen ts   th a g g r ess o r   T SV,  wh ich   s witch es  an d   ca u s es  elec tr o m ag n etic   in ter f er en ce   d u r in g   s ig n al  tr an s itio n s .   C ap ac itiv an d   in d u ctiv e   co u p lin g   m ay   lin k   th is   i n ter f er e n ce   o n to   t h n eig h b o u r in g   v ictim   T SV  ( r ig h R L C   lin e) ,   wh ich   is   q u iescen b u t   v u l n er ab le   to   n o is e.   C x   an d   C s im u late  in ter - T SV  co u p lin g ,   wh er ea s   R ,   L   an d   s u b s tr ate  ele m en ts   ( C s u b ,   Gsu b )   r ep r esen p h y s ical  p ar asit ics.           Fig u r e   3 .   E lectr ical  e q u iv alen t   m o d el  o f   MWC NT - b ased   T SVs       4.   SI M UL A T I O R E S UL T AND  DIS CUSS I O NS   T h b r ea k th r o u g h   MWC NT - b ased   T SVs   ar h i n d er ed   b y   cr o s s talk - in d u ce d   n o is e,   p o wer   d is s ip atio n ,   p r o p a g atio n   d elay   p r o d u ct ,   a n d   en er g y - d elay   p r o d u ct.   C o m p ar th ese  p e r f o r m an ce   m etr ic s   with   v ar io u s   T SV  p itch   d iam eter s   an d   in s u latin g   lin in g   m ater ials .   T h ex p ec ted   MWC NT - b ased   T SV s   ar co m p ar ed   to   SW C NT   o n es.  Fu n ctio n al  an d   d y n am ic  c r o s s talk s   ar s e en   in   T SVs   s witch in g .   As  a n   ag g r ess iv T SV  ch an g es,  an   id le  v ictim   T SV  en co u n ter s   f u n ctio n al  cr o s s talk   an d   v o ltag s p ik es.  Dy n am ic  cr o s s talk   o cc u r s   wh en   ag g r ess o r   a n d   v ictim   T SVs   s witch   co n cu r r e n tly .   I t   h as  in - p h ase  a n d   o u t - of - p h a s d elay s .   I n - p h ase  d elay s   o cc u r   wh en   b o th   T SVs   f lip   in   th s am d ir ec tio n ,   wh er ea s   o u t - of - p h ase  d elay s   o cc u r   wh en   th ey   s witch   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n t J I n f   &   C o m m u n   T ec h n o l     I SS N:   2252 - 8 7 7 6       A d va n ce d   ma teri a ls   fo r   cro s s t a lk  a n d   p o w er o p timiz a tio n   in   TS V   … ( Ta p p eta   C h in n a   S a n j ee va   R a yu d u )   1147   d ir ec tio n s   s im u ltan eo u s ly .   MWC NT - b ased   co u p led   T SVs f u n ctio n al  cr o s s talk ,   d y n a m ic  cr o s s talk ,   p o wer   co n s u m p tio n ,   p r o p ag atio n   d elay   p r o d u ct,   an d   en er g y - d elay   p r o d u ct  wer s im u lated   u s in g   HSPICE.   Fu n ctio n al  cr o s s talk   s p ik es  q u iescen ( v ictim )   T SV   wh en   an   ag g r ess o r   T SV  ch an g es.  Ou r   r esear ch   s h o ws   th at  cr o s s talk   n o is r ed u ce s   with   T SV  p itch   f r o m   5 0   to   1 0 , 0 0 0   µm .   SW C NT   an d   MW C NT   T SV s   cr o s s talk   n o is was e x am in ed   ac r o s s   d ielec tr ic  m ater ials .   Fig u r 4   in d icate s   th at  all  d ielec tr ic  m ater ials   r ed u ce   cr o s s talk   n o is as  T SV  p itch   in cr ea s es,   im p ly in g   less   elec tr o m ag n etic   in ter f er en ce   with   s p ac e.   B C B   h as  th lo west   cr o s s talk   a m o n g   T SV  p itch es,  p r o v in g   its   in s u latio n .   SiO₂  h as  co n s id er ab le   n o is e,   wh e r ea s   Po ly im id an d   PP C   p er f o r m   f air ly ,   with   PP C   s lig h tly   o u tp er f o r m in g   Po ly i m id at  h ig h er   p itch es.  T h b est  s ig n al  in ter f er en ce   s u p p r ess o r ,   B C B   r ed u ce s   n o is as  p itch wid en s .   T h is   s u g g ests   th at  B C B   an d   h ig h er   T SV  p itch   m ay   e n h an ce   i n ter co n n ec s ig n al   in teg r ity .   As  T SV   p itch   r is es,  all  d ielec tr ic   m a ter ials   r ed u c cr o s s talk   n o is as  s h o wn   in   Fig u r e   5 .   B C B   h as   th lo west  cr o s s talk ,   p ar ticu la r ly   at  h ig h er   p itch es,  r ed u cin g   MW C NT   s ig n al  in ter f er en ce .   SiO₂  h as  th m o s cr o s s talk   ac r o s s   all  p itch   lev els,  in d icatin g   in f er io r   is o latio n .   PP C   r ed u ce s   n o is m o r th an   Po ly im id at  wid er   p itch es.  T h is   s h o ws  th at  T SV  p itch   an d   d ielec tr ic  m ater ial  ch o ice  o p tim is MWC NT - b ased   co n n ec tio n   s ig n al  in teg r ity .   SW C NT   d ev ices  wit h   B C B   d ielec tr ic  ex h ib it  f ar   h ig h er   cr o s s talk   n o is th an   M W C NT   s tr u ctu r es  at   all  T SV  p itch   lev els   as  s h o wn   in   Fig u r 6 .   MWC NT   n o is r ed u ctio n   r is es  f r o m   5 5 t o   5 8 with   p itch ,   en h an cin g   s ig n al  in teg r ity .   Hig h er   p itch es  less e n   ca p ac itiv co u p lin g ,   im p r o v in g   p er f o r m a n ce .   No is e   d if f er en ce   s h o ws  SW C NT s   r ed u ce   in ter f er en ce .   C r o s s talk   is   m in im is ed   m o r e   b y   MWC NT   with   B C B   th an   o r d in ar y   in ter co n n ec ts .   Activ e   co u p lin g   ca u s es  d y n am ic  cr o s s talk   wh en   ag g r ess o r   a n d   v icti m   T SVs   tr an s itio n   s im u ltan eo u s ly   cr ea tin g   s ig n al  in ter f er en ce .   Fu n ctio n al  cr o s s talk wh en   ju s t   th ag g r ess o r   ch an g es  an d   th e   v ictim   s tay s   th s am e in ter f er es  m o r e.   Dy n am ic  cr o s s talk   h as  r ea l - tim co n cu r r e n tr an s itio n s ,   wh er ea s   f u n ctio n al  c r o s s talk   in ter f er es  u n d er   c o n tr o lled   s witch in g .           Fig u r 4 .   T SV  p itch   i m p ac ts   f u n ctio n al  cr o s s talk   n o is in   SW C NT   in ter co n n ec ts     with   d if f er en d ielec tr ic  m ater i als           Fig u r 5 .   I m p ac t o f   T SV  p itch   o n   cr o s s talk   in   MWC NT   in ter co n n ec ts       Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 2 5 2 - 8 7 7 6   I n t J I n f   &   C o m m u n   T ec h n o l ,   Vo l.  15 ,   No .   3 Sep tem b er   20 26 1 1 4 3 - 1 1 5 3   1148       Fig u r 6 .   SW C NT   an d   MWC NT   f u n ctio n al  c r o s s talk   n o is r ed u ctio n   c o m p a r is o n   in ter co n n ec ts     with   B C B   d ielec tr ic  at  d if f er e n T SV  p itch es       Fig u r 7   s h o ws  d y n am ic  c r o s s talk   n o is in   SW C NT - b ased   T SV  s tr u ctu r es  with   d if f e r en p itch es  an d   d ielec tr ics.  I n cr ea s in g   T SV  p itch   r ed u ce s   cr o s s talk   in   all  d ielec tr ics.  B C B   o f f er s   th s tr o n g est  d y n am ic  n o is r ed u ctio n ,   f o llo wed   b y   PP C ,   Po ly im id e,   an d   SiO₂.  T h g r ap h ic  s h o ws  B C B 's  s im u lt an eo u s   s witch in g   d ielec tr ic  p er f o r m an ce   e n h an ce m en t.  Fig u r 8   s h o ws  M W C NT - b ased   T SV s '   d y n am i cr o s s talk   n o is f o r   d if f er en d ielec tr ic  m ater ials .   B C B   h as  th lo west  cr o s s talk   n o is ac r o s s   all   T SV  p itch es .   Ver y   g o o d   n o is co u p l in g   s h ield in g .   T h b est  B C B   n o is r ed u ctio n   o cc u r s   a s   T SV  p itch   r is es.  B C B   d ec r ea s es  3 I C   d y n am ic   cr o s s talk   b est.  SW C NT   an d   MWC NT   T SVs   with   B C B   d i elec tr ics  ar test ed   f o r   d y n am ic  cr o s s talk   n o is in   Fig u r 9 .   MWC NT   h as  f ar   lo wer   n o is th an   SW C NT   at  all  T SV   p itch es.  No is r ed u cti o n   r is es  with   p itch   f r o m   7 2 % to   7 5 %.  T h is   s u g g e s ts   M W C NT   with   B C B   is o lat es n o is b etter   th an   SW C NT .   MWC NT   with   B C B   r ed u ce s   d y n am ic  cr o s s talk   in   3 I C s .   Fig u r 1 0   d em o n s tr at es  S W C NT - b ased   T SV   p o wer   d is s ip atio n   tr en d s   f o r   d if f er e n d ie lectr ic  m ater i als  as  T SV  p itch   in cr ea s es.  E v er y   p itch ,   B C B   r elea s es  th least  p o wer .   SiO₂  ex h ib its   th h ig h est  p o wer   lo s s ,   lead in g   in   wo r s en er g y   e f f icien cy .   B C B   d ec r ea s es  n an o s ca le  co n n ec tio n   p o wer   co n s u m p tio n ,   r esear ch e r s   f o u n d .   B C B   is   th m o s t e n er g y - e f f icien t SW C NT   d ielec tr i c.   Fig u r 1 1   d e m o n s tr ates  MWC NT - b ased   T SV  p o wer   d is s ip atio n   with   d if f er e n d ielec tr ics.  B C B   u s e s   th least  p o wer   at  all  T SV  p itch es.  I n   co n tr ast,  SiO₂  d is s ip ates  th m o s elec tr icity .   All  m ater ials   u s less   p o wer   as  T SV  p itch   in cr ea s es,  b u B C B   is   m o s ef f icien t.  B C B   M W C NT   co n n ec tin g   d ielec tr ic  is   m o s p o wer - ef f icie n t.  B C B   d ielec t r ic  SW C NT   an d   M W C NT   T SV  p o wer   d is s ip atio n   is   s ee n   in   Fig u r 1 2 .   MWC NT   s av es   elec tr icity   at   all  T SV   p itch es.  No is e   is   r ed u ce d   b y   7 5 % 7 8 with   p itch .   T h ese  r e s u lts   illu s tr ate  MW C NT ' s   en er g y   ef f icien cy   ad v an tag o v er   SW C NT .   T h u s ,   MWC NT   with   B C B   lo wer s   3 I C   p o wer   lo s s   an d   n o is e.             Fig u r 7 .   E v alu atio n   o f   d y n am ic  cr o s s talk   n o is in   SW C NT - b ased   T SVs   with   v ar io u s   d iele ctr ic  m ater ials   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n t J I n f   &   C o m m u n   T ec h n o l     I SS N:   2252 - 8 7 7 6       A d va n ce d   ma teri a ls   fo r   cro s s t a lk  a n d   p o w er o p timiz a tio n   in   TS V   … ( Ta p p eta   C h in n a   S a n j ee va   R a yu d u )   1149       Fig u r 8 .   E v alu atio n   o f   d y n am ic  cr o s s talk   n o is in   MWC NT - b ased   T SVs   with   v ar io u s   d iel ec tr ic  m ater ials           Fig u r 9 .   C o m p a r ativ an aly s i s   o f   cr o s s talk   n o is in   SW C N T   an d   MWC NT   with   B C B   d ie lectr ic           Fig u r 1 0 .   E v alu atio n   o f   p o we r   lo s s   in   SW C NT - b ased   T SVs   u s in g   v ar io u s   d ielec tr ics       Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 2 5 2 - 8 7 7 6   I n t J I n f   &   C o m m u n   T ec h n o l ,   Vo l.  15 ,   No .   3 Sep tem b er   20 26 1 1 4 3 - 1 1 5 3   1150   T h is   r esear ch   ev alu ates  C NT - b ased   T SV  with   P DP.  W ith   d elay   an d   d y n a m ic  cr o s s talk   n o is e,   PDP   m im ics  p o wer   lo s s   an d   s ig n al  in ter r u p tio n .   Use  f em t o jo u les  to   d o u b le  p o wer   l o s s   an d   c r o s s talk   n o is e.   SW C NT   an d   MWC NT   PDP  wer co m p ar e d .   MWC NT   r eg u lar ly   lo wer s   PDP,  in cr ea s in g   en er g y   ef f icien c y   an d   s ig n al  d e g r ad atio n .   SW C NT - b ased   T SV  PDP   d ep en d   o n   T SV  p itch   in   Fig u r 1 3 .   B C B   h as  th lo west  PDP,  s u g g esti n g   s u p er io r   p o wer   d is s ip atio n   an d   d y n am i cr o s s talk   n o is e.   SiO₂   h as  th g r ea test   PDP ,   in d icatin g   in e f f icien cy .   R ed u c ed   co u p lin g   lo wer s   PDP  in   al m ater ials   as  T SV  p itch   r is es.  Dielec tr ic  ch o ice   s ig n if ican tly   af f ec ts   T SV c o n n ec tio n   en er g y   ef f icie n cy ,   ac c o r d in g   to   tr en d s .             Fig u r 1 1 .   An aly s is   o f   p o we r   d is s ip atio n   in   MWC NT   T SV s   with   v ar io u s   d ielec tr ic  in s u lat o r s           Fig u r 1 2 .   C o m p ar ativ s tu d y   o f   p o wer   ef f icien c y   in   SW C N T   an d   MWC NT   T SVs   u s in g   B C B   in s u latio n           Fig u r 1 3 .   Po wer - d elay   p r o d u ct  ev alu atio n   in   SW C NT - b ased   T SVs   u s in g   d if f er e n t d ielec t r ics   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n t J I n f   &   C o m m u n   T ec h n o l     I SS N:   2252 - 8 7 7 6       A d va n ce d   ma teri a ls   fo r   cro s s t a lk  a n d   p o w er o p timiz a tio n   in   TS V   … ( Ta p p eta   C h in n a   S a n j ee va   R a yu d u )   1151   Fig u r 1 4   d em o n s tr ates  MW C NT - b ased   T SV   PDP  tr en d s   with   v ar io u s   d ielec tr ic  in s u l ato r s .   B C B   h as  th lo west  PDP,  s u g g esti n g   g o o d   s ig n al  an d   en er g y .   SiO ₂  m ig h h a v th lar g est  PDP,  in d icatin g   m o r e   en er g y   lo s s .   I n cr ea s ed   T SV  p i tch   d ec r ea s es  ca p ac itiv co u p l in g   an d   PDP  in   all  m ater ials .   B C B   in cr ea s es  3 I C   co n n ec tio n   e f f icien cy ,   s tats   s h o w. B C B - b ased   SW C NT   an d   MWC NT   in ter co n n ec ts   with   v ar y in g   T SV  p itch es  f o PDP   ar s h o wn   i n   Fig u r 1 5 .   MWC NT   in ter co n n ec ts   h av lo wer   PDP  th an   SW C NT   at  all  p itch es.   Ov er all,   MWC NT   co n s tr u ctio n s   co n s er v en er g y .   PDP  d r o p s   5 2 % 5 8 with   T SV  p itch .   T h is   s ig n if ican r is e   s h o ws  MW C NT s   en h an ce   s ig n al  tr an s m is s io n .   L o wer   MWC NT   PD r ed u ce s   p o wer   lo s s   an d   s ig n al  laten cy .   PDP  d ec r ea s es  with   p itch ,   i m p r o v i n g   t h is   ad v a n tag e.   Su p er io r   d ielec tr ic  ch a r ac ter is tics   o f   B C B   in s u latio n   b o o s ef f icien c y .   Po wer - c o n s cio u s   3 I C s   b en ef it  f r o m   M W C NT s '   p er f o r m an c e.   B C B   an d   MWC NT s   m ay   m in im is d en s co n n ec tio n   lat en cy   an d   en er g y .           F ig u r 1 4 .   Po wer - d elay   p r o d u ct  ev alu atio n   in   MWC NT - b ased   T SVs   u s in g   d if f er e n t d ielec tr ics           Fig u r 1 5 .   C o m p ar ativ e n er g y   ef f icien cy   an aly s is   o f   B C B - b ased   SW C NT   an d   MW C NT   T SVs   u s in g   PDP       5.   CO NCLU SI O N   I n   th is   wo r k ,   cr o s s talk ,   d ela y ,   p o wer   co n s u m p tio n ,   an d   PDP   wer an aly ze d   f o r   MWC NT - b ased   T SVs   in co r p o r atin g   SiO₂,  PP C ,   Po ly im id e,   an d   B C B   d ielec tr ic  m ater ials .   T h p r o p o s ed   T SV  s tr u ctu r es  wer e   m o d eled   an d   e v alu ated   u s in g   th HSPICE  s im u latio n   to o l.  Am o n g   t h ev alu ated   m ater ial s ,   B C B - lin ed   T SV s   ex h ib ited   th b est  p e r f o r m an c en h an ce m e n ts .   co m p ar ati v an aly s is   was  also   co n d u cted   ag ain s SW C NT - b ased   T SVs   u s in g   B C B   at  d i f f er en T SV  p itch es  ( 5 0   μ m ,   5 0 0   μ m ,   5 0 0 0   μ m ,   an d   1 0 0 0 0   μ m ) .   Simu latio n   o u tco m es  r ev ea led   t h at  th p r o p o s ed   MWC NT   T SV s   ac h iev ed   r ed u ctio n s   o f   u p   to   5 8 in   f u n ctio n al   cr o s s talk ,   7 5 in   d y n am ic   cr o s s talk ,   7 8 in   p o wer   d is s ip atio n ,   a n d   5 2 i n   PDP.  T h ese   f i n d in g s   c o n f ir m   th at   MWC NT s   in teg r ated   with   B C B   lin er s   ca n   s ig n if ican tly   en h a n ce   th p er f o r m a n c o f   3 in t eg r ated   cir cu its .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 2 5 2 - 8 7 7 6   I n t J I n f   &   C o m m u n   T ec h n o l ,   Vo l.  15 ,   No .   3 Sep tem b er   20 26 1 1 4 3 - 1 1 5 3   1152   F UNDING   I NF O R M A T I O N   Au th o r s   s tate  n o   f u n d in g   in v o lv ed .       AUTHO CO NT RI B UT I O NS ST A T E M E N T   T h is   jo u r n al  u s es  th C o n tr ib u to r   R o les  T ax o n o m y   ( C R ed iT )   to   r ec o g n ize  in d iv id u al  au th o r   co n tr ib u tio n s ,   r ed u ce   au th o r s h ip   d is p u tes,  an d   f ac ilit ate  co llab o r atio n .       Na m o f   Aut ho r   C   M   So   Va   Fo   I   R   D   O   E   Vi   Su   P   Fu   T ap p eta  C h in n San jeev R ay u d u                               Me r r in   Pra s an n Nag ad asar i                                 C     C o n c e p t u a l i z a t i o n   M     M e t h o d o l o g y   So     So f t w a r e   Va     Va l i d a t i o n   Fo     Fo r mal   a n a l y s i s     I     I n v e s t i g a t i o n   R     R e so u r c e s   D   :   D a t a   C u r a t i o n   O   :   W r i t i n g   -   O r i g i n a l   D r a f t   E   :   W r i t i n g   -   R e v i e w   &   E d i t i n g     Vi     Vi su a l i z a t i o n   Su     Su p e r v i s i o n   P     P r o j e c t   a d mi n i st r a t i o n   Fu     Fu n d i n g   a c q u i si t i o n         CO NF L I C T   O F   I N T E R E S T   ST A T E M E NT   Au th o r s   s tate  n o   co n f lict o f   in t er est.       I NF O RM E CO NS E N T   Data   av ailab ilit y   is   n o ap p li ca b le  to   th is   p ap er   as  n o   n e d ata  wer cr ea ted   o r   an aly ze d   in   th is   s tu d y .       E T H I CAL AP P RO V AL   No   h u m a n   p ar ticip a n ts   o r   an i m als  wer in v o lv e d   in   th is   r e s ea r ch .   T h er e f o r e,   eth ical  ap p r o v al  an d   in f o r m e d   co n s en t w er e   n o t r e q u ir ed .       DATA AV AI L AB I L I T Y   Data   av ailab ilit y   is   n o ap p li ca b le  to   th is   p ap er   as  n o   n e d ata  wer cr ea ted   o r   an aly ze d   in   th is   s tu d y .       REFE RENC E S   [ 1 ]   S .   C h a n d r a k a r ,   D .   G u p t a ,   a n d   M .   K .   M a j u m d e r ,   P e r f o r m a n c e   a n a l y si s   o f   C u / C N T - b a s e d   TSV :   i m p a c t   o n   c r o ss t a l k   a n d   p o w e r ,   J o u rn a l   o f   C o m p u t a t i o n a l   El e c t ro n i c s ,   v o l .   2 1 ,   n o .   6 ,   p p .   1 2 6 2 1 2 7 4 ,   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 0 0 7 / s 1 0 8 2 5 - 022 - 0 1 9 3 7 - 2.   [ 2 ]   A .   A l a m ,   M .   K .   M a j u md e r ,   A .   K u m a r i ,   V .   R .   K u mar,   a n d   B .   K .   K a u sh i k ,   P e r f o r m a n c e   a n a l y s i o f   s i n g l e -   a n d   m u l t i - w a l l e d   c a r b o n   n a n o t u b e   b a se d   t h r o u g h   s i l i c o n   v i a s,”   i n   2 0 1 5   I EEE   6 5 t h   El e c t ro n i c   C o m p o n e n t s   a n d   T e c h n o l o g y   C o n f e re n c e   ( E C T C ) M a y   2 0 1 5 ,   p p .   1 8 3 4 1 8 3 9 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / e c t c . 2 0 1 5 . 7 1 5 9 8 4 9 .   [ 3 ]   B .   D .   M a d h u r i   a n d   S .   S u n i t h a ma n i ,   D e si g n   o f   t e r n a r y   l o g i c   g a t e s   a n d   c i r c u i t u si n g   G N R F E Ts,   I ET  C i rc u i t s,   D e v i c e &a m p ;   S y s t e m s ,   v o l .   1 4 ,   n o .   7 ,   p p .   9 7 2 9 7 9 ,   O c t .   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 1 0 4 9 / i e t - c d s . 2 0 1 9 . 0 4 2 7 .   [ 4 ]   D .   M .   B a d u g u   a n d   S .   S . ,   C r o s st a l k   r e d u c t i o n   i n   c o p p e r   o n c h i p   i n t e r c o n n e c t s   w i t h   g r a p h e n e   b a r r i e r   f o r   t e r n a r y   l o g i c   a p p l i c a t i o n s,   I n t e r n a t i o n a l   J o u r n a l   o f   C i r c u i t   T h e o r y   a n d   Ap p l i c a t i o n s ,   v o l .   4 8 ,   n o .   1 2 ,   p p .   2 0 9 7 2 1 1 0 ,   2 0 2 0 ,     d o i :   1 0 . 1 0 0 2 / c t a . 2 8 0 9 .   [ 5 ]   J.  B .   S h a i k   a n d   P .   V e n k a t r a m a n a ,   I n v e s t i g a t i o n   o f   c r o ss t a l k   i ss u e s   f o r   M W C N T   b u n d l e d   TSV i n   t e r n a r y   l o g i c ,   E C S   J o u r n a l   o f   S o l i d   S t a t e   S c i e n c e   a n d   T e c h n o l o g y ,   v o l .   1 1 ,   n o .   3 ,   p .   3 1 0 0 2 ,   M a r .   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 1 4 9 / 2 1 6 2 - 8 7 7 7 / a c 5 c 8 5 .   [ 6 ]   S .   J.   B a sh a   a n d   V .   R .   K u m a r ,   D e s i g n   o f   M W C N b a s e d   t h r o u g h   s i l i c o n   v i a w i t h   p o l y m e r   l i n e r s t o   r e d u c e   t h e   c r o sst a l k   e f f e c t s,   EC S   J o u rn a l   o f   S o l i d   S t a t e   S c i e n c e   a n d   T e c h n o l o g y ,   v o l .   9 ,   n o .   4 ,   p .   4 1 0 0 2 ,   Jan .   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 1 1 4 9 / 2 1 6 2 - 8 7 7 7 / a b 8 0 b 4 .   [ 7 ]   M .   K .   M a j u m d e r ,   A .   K u m a r i ,   B .   K .   K a u s h i k ,   a n d   S .   K .   M a n h a s,  S i g n a l   i n t e g r i t y   a n a l y s i i n   c a r b o n   n a n o t u b e   b a s e d     t h r o u g h - si l i c o n   v i a ,   Ac t i v e   a n d   P a ssi v e   E l e c t r o n i c   C o m p o n e n t s ,   v o l .   2 0 1 4 ,   p p .   1 7 ,   2 0 1 4 ,   d o i :   1 0 . 1 1 5 5 / 2 0 1 4 / 5 2 4 1 0 7 .   [ 8 ]   B .   K .   K a u s h i k ,   M .   K .   M a j u m d e r ,   a n d   V .   R .   K u mar,  C a r b o n   n a n o t u b e   b a se d   3 - D   i n t e r c o n n e c t -   a   r e a l i t y   o r   a   d i st a n t   d r e a m ,   I EEE  C i rc u i t a n d   S y st e m s M a g a zi n e ,   v o l .   1 4 ,   n o .   4 ,   p p .   1 6 3 5 ,   2 0 1 4 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / m c a s. 2 0 1 4 . 2 3 6 0 7 8 7 .   [ 9 ]   B .   C .   K i m ,   S .   K a n n a n ,   A .   G u p t a ,   F .   M o h a mm e d ,   a n d   B .   A h n ,   D e v e l o p men t   o f   c a r b o n   n a n o t u b e   b a se d   t h r o u g h - si l i c o n   v i a s,   J o u rn a l   o f   N a n o t e c h n o l o g y   i n   E n g i n e e ri n g   a n d   M e d i c i n e ,   v o l .   1 ,   n o .   2 ,   M a y   2 0 1 0 ,   d o i :   1 0 . 1 1 1 5 / 1 . 4 0 0 1 5 3 7 .   [ 1 0 ]   K .   R a j k u m a r   a n d   G .   U .   R e d d y ,   P o l y mer  l i n e r w i t h   C u - M W C N b a se d   H C TSV t o   r e d u c e   c r o sst a l k   e f f e c t s ,     Ru ss i a n   Mi c ro e l e c t r o n i c s ,   v o l .   5 2 ,   n o .   4 ,   p p .   3 1 7 3 2 4 ,   A u g .   2 0 2 3 ,   d o i :   1 0 . 1 1 3 4 / s1 0 6 3 7 3 9 7 2 3 7 0 0 5 2 x .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.